oxynitridingとは 意味・読み方・使い方

By the method, an oxynitriding aluminum film can be formed on the surface of the semiconductor substrate relatively quickly.例文帳に追加

この方法によると、半導体基板の表面に、酸窒化アルミニウム膜を比較的に短時間で形成することができる。 - 特許庁

When the oxynitriding treatment is performed, impurity concentration of the treating gas is measured and the oxynitriding treatment is performed according to the measured impurity concentration so that the film thickness or nitrogen concentration of the formed oxynitride film is within a predetermined range.例文帳に追加

酸窒化処理を行うに際して、処理ガスの不純物濃度を計測し、生成される酸窒化膜の膜厚又は酸窒化膜の窒素濃度が所定範囲内の値となるように、計測された不純物濃度に応じて当該酸窒化処理を行う。 - 特許庁

The cover layer 9 on the transparent conducting thin film 5 is a layer comprising metal, or it is comprised by oxidizing, nitriding or oxynitriding a metal layer.例文帳に追加

透明導電薄膜５上の被覆層９は、金属よりなる被覆層或いは金属層を酸化、窒化又は酸窒化してなる。 - 特許庁

To provide a nitriding treatment apparatus and method which can efficiently perform nitriding treatment and can relatively rapidly form high-hardness hardened layers having excellent wear resistance etc., on members, parts, etc., made of steel at a low cost and an oxynitriding controller which can assure the safety of oxynitriding treatment in particular.例文帳に追加

効率的に窒化処理が行なえ、鋼製の部材、部品等に耐摩耗性等に優れた高硬度の硬化層を比較的短時間に低コストで形成できる窒化処理装置及び方法、並びに特に酸窒化処理の安全性を確保できる酸窒化制御装置を提供する。 - 特許庁

In a floating gate type transistor having a floating gate which is provided on a silicon board via a tunnel insulating film, and a control gate which is provided on the floating gate via an insulating film between gates, a first oxynitriding film 4 or a second oxynitriding film 8 is formed between a silicon board 1 and a tunnel oxide film 3, or between floating gate electrode 5 and the tunnel oxide film 3.例文帳に追加

シリコン基板上にトンネル絶縁膜を介して設けられた浮遊ゲートと、浮遊ゲート上にゲート間絶縁膜を介して設けられた制御ゲートを有する浮遊ゲート型トランジスタにおいて、シリコン基板１とトンネル酸化膜３との間あるいは浮遊ゲート電極５とトンネル酸化膜３との間に制御して第１酸窒化膜４あるいは第２酸窒化膜８が形成される。 - 特許庁

To efficiently discharge residual water, left in a reaction chamber as a result of a pyrogenic oxidizing process by performing two processes composed of the pyrogenic oxidizing process and an NO oxynitriding process as continuously as possible.例文帳に追加

パイロジェニック酸化処理とＮＯ酸窒化処理とからなる２つの処理をできるだけ連続に近い形で行わせて、パイロジェニック酸化処理で生じる残留水分を効率良く排出させる。 - 特許庁

The treatment is carried out according to the measured impurity concentration, concretely, by adjusting and setting processing pressure in the oxynitriding treatment based upon the correlation so that the film thickness or nitrogen concentration is within a predetermined range.例文帳に追加

そして、当該相関関係に基づき、膜厚又は窒素濃度が所定範囲内の値となるように、計測された不純物濃度に応じて、具体的には酸窒化処理における処理圧力を調節設定して当該処理を行う。 - 特許庁

Then, after a first metal oxide layer is formed on the surface of the first metal layer which is to be the bottom layer, the surface of base material containing at least one metal layer is subjected to any one of oxidation treatment, nitriding treatment, and oxynitriding treatment so that respective layers have a different element configuration.例文帳に追加

次いで、最下層となる第１金属層の表面に第１金属酸化物層を形成した後に、層間において構成元素が異なるように、一つ以上の金属層を含む下地の表面に対して酸化処理、窒化処理、及び酸窒化処理のいずれかの処理を施す。 - 特許庁