oxygen chamberとは 意味・読み方・使い方

To rationally reduce oxygen concentration when a low oxygen chamber is constituted.例文帳に追加

低酸素室を構成する際に、酸素濃度の低減を合理的に行う。 - 特許庁

Oxygen gas is introduced into the processing chamber (step S11).例文帳に追加

処理室に酸素ガスを導入する（ステップＳ１１）。 - 特許庁

Argon and oxygen are introduced into the chamber 100.例文帳に追加

チャンバ１００内には、アルゴンと酸素とが導入される。 - 特許庁

Oxygen-containing gas is flowed in the positive electrode chamber 33.例文帳に追加

正極室３３に酸素含有ガスを流通させる。 - 特許庁

The process for detecting a leak into the oxygen chamber 28 is carried out prior to the process for detecting a leak into the portions other than the oxygen chamber 28.例文帳に追加

酸素室２８へのもれ検知工程を、酸素室２８以外へのもれ検知工程より先に実行する。 - 特許庁

After a wafer is carried into the treatment chamber, nitrogen gas in the treatment chamber is purged and the concentration of oxygen in the treatment chamber is detected by the oxygen analyzer.例文帳に追加

ウエハを処理室に搬入後、処理室内を窒素ガスパージするとともに、処理室内の酸素濃度を酸素濃度計で検出する。 - 特許庁

The inside of a chamber 2 is filled up with a pure oxygen gas before supplying an ozone gas into the chamber 2.例文帳に追加

オゾンガスの供給に先立って、チャンバ２内を純酸素ガスで充満する。 - 特許庁

The chamber 1 has an oxygen-atmospheric air inlet 6 for introducing oxygen or atmospheric air toward the interior of the chamber 1.例文帳に追加

チャンバ１は、チャンバ１の内部に向けて酸素または大気を導入するための酸素・大気導入口６を有する。 - 特許庁