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neutral radicalとは 意味・読み方・使い方

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意味・対訳 中性ラジカル

JST科学技術用語日英対訳辞書での「neutral radical」の意味

neutral radical


「neutral radical」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 14



例文

A neutral and stable radical compound is used as an active material for positive electrode layer.例文帳に追加

正極層の活物質として中性かつ安定なラジカル化合物を用いる。 - 特許庁

Then the neutral radical (hydrogen radical) of hydrogen atoms or hydrogen molecules is introduced from a gas delivery tube 23 into the chamber 21 to remove a resist mask on the surface of the wafer 31.例文帳に追加

そして水素原子あるいは水素分子の中性ラジカル(水素ラジカル)をガス輸送管23からチャンバ21内に導入させウエハ31表面のレジストマスクを除去する。 - 特許庁

A radical is supplied to a substrate S from a source of radical 3 along the direction almost orthogonal to a machined surface of the substrate S, a neutral particle beam source 4 irradiates a neutral particle beam NB along the direction almost parallel to the machined surface of the substrate S.例文帳に追加

基板Sには、基板Sの加工面に対して略直交する方向に沿って、ラジカル源3からラジカルが供給され、基板Sの加工面に対して略並行な方向に沿って、中性粒子ビーム源4から中性粒子ビームNBが照射される。 - 特許庁

Therefore, a deviation of machined amount by the radical is supplemented with a neutral neon beam NB, thereby enabling the system to level the machined surface of the substrate S.例文帳に追加

よって、ラジカルによる加工量の偏りを中性ネオンビームNBによって補完し、基板Sの加工面を平らにすることができる。 - 特許庁

The apparatus for manufacturing the semiconductor device comprises a workpiece holding mechanism (2) for holding a workpiece (3) where the semiconductor device is formed and a plurality of radical guns (1) for emitting a neutral radical beam (4) to the workpiece (3).例文帳に追加

本発明による半導体デバイス製造装置は、半導体デバイスが形成されるワーク(3)を保持するワーク保持機構(2)と、ワーク(3)に中性ラジカルビーム(4)を射出する、複数のラジカルガン(1)とを備えている。 - 特許庁

In the battery using an electrode reaction of an active material, a neutral carbon radical compound is contained at least as one active material.例文帳に追加

活物質の電極反応を利用する電池において、少なくとも一つの活物質として中性炭素ラジカル化合物を含有することを特徴とする電池1。 - 特許庁

例文

To provide a neutral-beam-utilizing atomic layer vapor deposition apparatus wherein a workpiece is irradiated with a neutral beam formed by neutralizing a radical flux, i.e., an ion beam, generated by converting a second gas into a plasma, and to provide an atomic layer vapor deposition method utilizing the apparatus.例文帳に追加

第2の反応ガスをプラズマ化して発生されたラジカルのフラックス、すなわち、イオンビームを中性ビーム化して被処理基板に照射するようにした中性ビームを利用した原子層蒸着装置及びこの装置を利用した原子層蒸着方法を提供する。 - 特許庁

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日英・英日専門用語辞書での「neutral radical」の意味

neutral radical


「neutral radical」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 14



例文

Since a neutral radical is not charged, the film is formed on the substrate 2 regardless of the negative bias, thus achieving double generation rate, in experimental values, in comparison with a conventional non-bias system.例文帳に追加

中性ラジカルは電荷を帯びていないので、マイナスバイアスと無関係に基板2上に膜が生成されるため、従来の無バイアス方式と比較して、実験値で、2倍の生成レート向上を実現している。 - 特許庁

Kuranosuke OISHI, the head of one faction, adopted a neutral attitude by avoiding the split and did his best to restore the family by suggesting that the radical Edo faction bide their time for revenge.発音を聞く 例文帳に追加

一党の頭目たる大石内蔵助自身は、どっちつかずの態度で分裂を回避しながら、実際にはお家再興に力を入れて、江戸急進派に時節到来を待つよう促すという立場をとった。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス

This cosmetic material is extracted from seaweeds containing 1-10% of sulfate radical with neutral hot water, has ≤600 g/cm2 jelly strength in 1.5% agar concentration and contains agar having 400,000-2,000,000 average molecular weight and specified in having15 cp viscosity at 85°C in a sol of 1.5% agar concentration.例文帳に追加

本発明の化粧料は、硫酸根含量が1〜10%の原料海藻から中性の熱水で抽出され、1.5%寒天濃度のゲルにおけるゼリー強度が600g/cm^2以下であり、かつ1.5%寒天濃度のゾルにおける粘度が85℃において15cp以上であることを特性とする40万〜200万の平均分子量の寒天を含有する。 - 特許庁

This plasma CVD device has a hollow structure of plasma confinement electrode plate 5 for plasma isolation being provided with a plurality of holes, between a plasma generation region and a substrate processing region, and the plasma confinement electrode plate 5 is provided with a radical passage hole and a neutral gas passage hole, and plural sheets of gas diffusion plates 7 (11 and 12) having holes are provided inside the plasma confinement electrode plate.例文帳に追加

プラズマ生成領域と基板処理領域との間に、複数の孔が設けられたプラズマ分離用の中空構造のプラズマ閉込電極板5を有し、プラズマ閉込電極板5には、ラジカル通過孔と中性ガス通過孔が設けられ、プラズマ閉込電極板の内側には、孔を有するガス拡散板7(11,12)が複数枚設けられている。 - 特許庁

A pad oxidation film 2 and a nitriding silicon film 3 are formed on a silicon substrate 1, a trench 4 is formed by dry etching to make the nitriding silicon film 3 an etching mask, further the nitriding silicon film 3 is made an oxidation mask to thermally oxidize the silicon substrate 1, and a reforming layer formed on the surface of the nitriding silicon film 3 is removed by a neutral radical containing fluorine in a thermal oxidation process.例文帳に追加

シリコン基板1上にパット酸化膜2と窒化珪素膜3を形成し、窒化珪素膜3をエッチングマスクにしたドライエッチングでトレンチ4を形成し、更に窒化珪素膜3を酸化マスクにしてシリコン基板1を熱酸化し、上記熱酸化工程において窒化珪素膜3表面に形成される改質層をフッ素含有の中性ラジカルで除去する。 - 特許庁

To provide an ultrafine particle electrically adsorbing allergy-inducing proteins, radical functional groups such as neurotransmitters, lipids producing peroxides, DNA and RNA, especially ones completely dispersible with ultrasonic waves only without using a surfactant; and to remove harmful substances such as allergens by directly and electrically adsorbing physiologically active substances electrified in a positive, negative or neutral zone according to the surface potential of the particles.例文帳に追加

アレルギーを発生させるタンパク質や神経伝達物質などのラジカル性官能基及び過酸物を作る脂質、DNAやRNAを電気的に吸着する超微粒子、特に界面活性剤を使用せずに超音波だけで完全分散可能な超微粒子を提供し、該粒子表面電位により正負又は中性域に帯電する生理活性物質を直接電気吸着しアレルゲンなどの有害物質を除去することを課題としている。 - 特許庁

例文

A manufacturing method of the electron emitting element comprises a process to prepare beforehand a substrate having an insulating or a semi-conductive layer, and a process to expose the layer in an atmosphere including a neutral radical containing hydrogen.例文帳に追加

電子放出素子の製造方法は、絶縁性または半導電性の層を備えた基体を予め用意する工程と、水素を含む中性ラジカルを含む雰囲気に前記層を曝す工程とを有し、当該絶縁性または半導電性の層が金属粒子を含有していること、当該絶縁性または半導電性の層が炭素を主成分とすること、当該水素を含む中性ラジカルが、H・、CH_3・、C_2H_5・、C_2H・、または、それらの混合気体であること、当該水素を含む中性ラジカルの濃度が、当該雰囲気中の荷電粒子の濃度と比較して1000倍以上であること、及び、当該雰囲気に当該絶縁性または半導電性の層を曝す工程は、バイアスグリッドを設けたプラズマ装置を用いて、水素終端を施す工程であることが好ましい。 - 特許庁

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