nanolithographyとは 意味・読み方・使い方

To provide a microfabricated probe array for nanolithography and a process for designing and fabricating the probe array.例文帳に追加

ナノリソグラフィのために、微細に加工されたプローブアレー及びプローブアレーを設計及び製造するプロセスを提供する。 - 特許庁

A method of fabricating organic and inorganic composite nanostructures on a substrate includes a step of depositing a solution having a block copolymer and an inorganic precursor on the substrate using dip pen nanolithography.例文帳に追加

本発明は、ディップペン・ナノリソグラフィを用いて、ブロックコポリマーおよび無機前駆体を有する溶液を基板上に付着させる段階を含む、基板上に有機／無機複合ナノ構造を製造する方法を含む。 - 特許庁

To provide a production method of a fine inorganic material structure and a fine inorganic material structure production device carrying out a series of processes easily in a short time in adopting a DPN (Dip Pen Nanolithography) method to an inorganic material requiring a crystallizing process of the functional inorganic material, etc.例文帳に追加

微細無機材料構造体の作製方法及び微細無機材料構造体作製装置に関し、ＤＰＮ法を機能性無機材料等の結晶化工程が必要な無機材料に適用する際に、一連の工程を短時間で簡便に行う。 - 特許庁

Similarly in correcting a black defect, an etching source material in a liquid state is supplied from the probe of a scanning probe microscope onto only the black defect region by a similar method to Dip-Pen Nanolithography, and an ion beam or an electron beam is supplied to etch to correct the black defect.例文帳に追加

黒欠陥修正の場合も同様に、走査プローブ顕微鏡の探針から液体状のエッチング原料をＤｉｐ−Ｐｅｎ Ｎａｎｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙと同様な方法で黒欠陥領域上のみに供給し、イオンビームや電子ビームを供給してエッチングを行い黒欠陥を修正する。 - 特許庁