multichamberedとは 意味・読み方・使い方
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To provide a measured wafer determining/control device capable of efficiently measuring workmanship on a wafer manufactured by a multichambered semiconductor manufacturing device to shorten a lead time thereof.例文帳に追加
マルチチャンバ型半導体製造装置で製造されるウェハを効率的に出来栄え測定しリードタイム短縮を図ることができる測定ウェハ決定制御装置等を提供する。 - 特許庁
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multicamerate
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