molecular ejectionとは 意味・読み方・使い方

To provide a molecular beam source cell for thin film deposition which forms a thin film with a uniform thickness even when its molecule ejection ports are arranged near to a solid film-formation surface, thus enhancing film formation efficiency and film thickness uniformity.例文帳に追加

分子放出口を固体の成膜面に近づけても、成膜される薄膜の膜厚を均一にすることが出来、これにより成膜効率と膜厚の均一性との双方を向上させる。 - 特許庁

The molecular beam source cell for thin film deposition comprises the crucible 1 which houses a film forming material, the heater 3 which heats the film forming material housed in the crucible 1 to sublimate or evaporate the material and to generate the molecules, and the ejection port 7 which is disposed on the aperture side of the crucible 1 and emits the molecules toward the deposition surface.例文帳に追加

薄膜堆積用分子線源セルは、成膜材料を収納する坩堝１と、この坩堝１に収納した成膜材料を加熱して昇華または蒸発させて、分子を発生させるためのヒータ３と、坩堝１の開口部側に設けられ、成膜面に向けて分子を放出する出射口７とを有する。 - 特許庁

The molecular beam source cell for thin film deposition generates molecules for growing a thin film on a solid surface by subliming or vaporizing a film-forming material (a) under heating, and has a plurality of molecule ejection ports 4, 4 for ejecting molecules of the film-forming material toward a film-forming plane 1 for forming the film.例文帳に追加

薄膜堆積用分子線源セルは、成膜材料ａを加熱することにより、その成膜材料ａを昇華または蒸発して、固体表面に薄膜を成長させるための分子を発生するものであって、薄膜の成膜面１に向けて薄膜を形成する材料の分子を放出する分子放出口４、４…を複数設けると共に、これら分子放出口４、４…を互いに斜め外向きに開口させたものである。 - 特許庁