micro-electrical-mechanical systemとは 意味・読み方・使い方

MICRO-ELECTRICAL MECHANICAL SYSTEM (MEMS) SCANNER HAVING ACTUATOR SEPARATED FROM MIRROR例文帳に追加

ミラーから分離されたアクチュエータを備えたＭＥＭＳスキャナ - 特許庁

The micro-electromechanical system (MEMS) 100 includes a micro-mechanical structure 110 generating a first electrical signal.例文帳に追加

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）１００は、第１の電気信号を生成できる微小機械構造１１０を含む。 - 特許庁

The optical switch sub-system 1 using a micro electrical mechanical system (MEMS) to switch an optical path, is provided with a self-diagnostic means for measuring the operating characteristic of the optical switch sub-system 1 to perform the self-diagnosis with respect to the measured result.例文帳に追加

微小電気機械（ＭＥＭＳ）を用いて光路のスイッチングを行う光スイッチサブシステム１において、光スイッチサブシステム１の動作特性を測定し、その測定結果に関して自己診断を行う。 - 特許庁

In this invention, a system is provided which efficiently rectifies and stores outputs of the micro electret mechanical/electrical energy conversion elements, in which voltages and currents are very small.例文帳に追加

本発明においては、一般に電圧および電流が微小なマイクロエレクトレット機械電気エネルギー変換素子の出力を効率よく整流して蓄積する方式を実現する。 - 特許庁

An MEMS (Micro Electronic Mechanical System) antenna (10) includes an oscillator (12, 13) having a characteristic of oscillating at a predetermined natural frequency and being displaceable by receiving an external magnetic field, and a variable capacitance (12 or 16, 17) for converting motion of the oscillator to an electrical signal.例文帳に追加

所定の固有振動数で振動する特性を有するとともに外部磁界を受けて変位する振動体（１２，１３）と、該振動体の運動を電気信号に変換する可変容量（１２あるいは１６，１７）とを備えたＭＥＭＳアンテナ（１０）である。 - 特許庁