megasonicとは 意味・読み方・使い方

A micro cavitation is formed in a space partitioned from a washing object by applying an electromotive force to a washing solution in megasonic as the megasonic washing method.例文帳に追加

メガソニック洗浄方法として、洗浄対象体と区分される空間で、メガソニックによって洗浄液を起電させてマイクロ空洞を生成させる。 - 特許庁

In a megasonic plating technique, a swelling part 38 of an electrolyte extendedly existing above a plating tray 12 using dipping type megasonic convertor array 22 is generated.例文帳に追加

メガソニックめっき技術は、浸漬型メガソニック変換器アレイ（２２）を使用してめっきトレイ（１２）の上方に延在する電解液の隆起部（３８）を発生させる。 - 特許庁

The one bath type cleaning tank 20 includes a megasonic oscillator for cleaning an object to be cleaned.例文帳に追加

ワンバス式の洗浄槽２０は、被洗浄物を洗浄するメガソニック発振器を備える。 - 特許庁

The surface altered layer 24a is removed by performing megasonic cleaning in hydrogen water.例文帳に追加

次に、表面変質層２４ａをオゾン水中でメガソニック洗浄を行なって除去する。 - 特許庁

An immersion lithographic projection apparatus having a megasonic transducer configured to clean a surface and a method of cleaning the immersion lithographic projection apparatus using megasonic waves through a liquid are disclosed.例文帳に追加

表面を洗浄するメガソニックトランスデューサを有する液浸リソグラフィ投影装置、及び液体を通じてメガソニック波を使用して液浸リソグラフィ投影装置を洗浄する方法が開示される。 - 特許庁

An immersion lithographic projection apparatus having a megasonic transducer configured to clean a surface and a method of cleaning the immersion lithographic projection apparatus using megasonic waves through a liquid are disclosed.例文帳に追加

表面を洗浄するメガソニックトランスデューサを有する液浸リソグラフィ投影装置、及び液体を通じてメガソニック波を使用して液浸リソグラフィ投影装置を洗浄する方法が開示される。 - 特許庁

To provide a semiconductor wafer megasonic cleaning vessel capable of easily supplying and discharging liquid to the cleaning vessel and operating a megasonic transducer at high temperatures and pressure.例文帳に追加

洗浄容器への液体の供給や排出が容易で、かつ高温高圧で高周波超音波トランスデューサを作動できる半導体ウェーハ高周波超音波洗浄容器を提供する。 - 特許庁

Therefore, the residue of the surface altered layer is removed by performing megasonic cleaning in hydrogen water.例文帳に追加

そこで、次に、この表面変質層残渣を水素水中でメガソニック洗浄を行なって除去する。 - 特許庁