matching boxとは 意味・読み方・使い方

An upper matching box 44 is an impedance-variable variable matching box, and includes a controller 104 for variably controlling the impedance position of a variable reactance element of a matching circuit 102; and an RF sensor 106 having a function for measuring load impedance, including the matching circuit 102.例文帳に追加

上部整合器４４は、インピーダンス可変の可変整合器であり、整合回路１０２の可変リアクタンス素子のインピーダンス・ポジションを可変制御するためのコントローラ１０４と、整合回路１０２を含めた負荷インピーダンスを測定する機能を有するＲＦセンサ１０６とを有している。 - 特許庁

A high frequency power source 307 is connected to the electrode 205 via a matching box 206.例文帳に追加

電極２０５には、マッチングボックス２０６を介して高周波電源３０７が接続されている。 - 特許庁

One matching box 7 for matching the impedance between the cathode-anode electrodes 2, 4 and the power supply 8 is arranged between the power supply 8 and the chamber 3.例文帳に追加

電源８とチャンバー３との間には、カソード・アノード電極２，４および電源８の間のインピーダンスを整合する１個のマッチングボックス７が配設されている。 - 特許庁

In this case, on at least one side of the first electrode and the second electrode, a matching box is provided to perform phase and impedance matching.例文帳に追加

この際、第１電極又は第２電極の少なくとも一方の側には、マッチングボックスが備えられており、位相及びインピーダンスマッチングが行われる。 - 特許庁

The plasma process device 100 is equipped with a matching box 2, a pair of electrode parts 6, and the electric power sources 11, 12.例文帳に追加

プラズマプロセス装置１００は、マッチングボックス２と、一対の電極部６と、電源１１，１２とを備える。 - 特許庁

To provide an accommodated article management system and an accommodation box capable of surely matching information about parts written in a label on the accommodation box with parts accommodated in the accommodation box.例文帳に追加

収納箱に貼り付けられたラベルに記載された部品の情報と、収納箱に収容された部品とを確実に適合させることができる収納物管理システムおよび収納箱を提供する。 - 特許庁

To perform etching with a single power supply and a single matching box by using an optimal frequency of each object to be etched.例文帳に追加

単一の電源及び単一のマッチングボックスにより、各被エッチング物の最適な周波数を用いてエッチングする。 - 特許庁

A source radio frequency (RF) power source 15 is connected to the coil antenna 13 via a radio frequency (RF) matching box 14.例文帳に追加

このコイルアンテナ１３には、高周波整合器１４を介してソース高周波電源１５が接続されている。 - 特許庁