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low temperature processesとは 意味・読み方・使い方
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「low temperature processes」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 45件
To provide a process chamber to endure high-temperature and low-pressure processes and to improve wafer temperature uniformity and gas flow performance.例文帳に追加
高温、低圧プロセスに耐え、ウェーハ温度の均一性及びガスフロー特性を改善することができるプロセスチャンバを提供する。 - 特許庁
To provide a process chamber capable of withstanding high temperature, low pressure processes, and having improved wafer temperature uniformity and gas flow characteristics.例文帳に追加
高温、低圧プロセスに耐え、ウエーハ温度の均一性及びガスフロー特性を改善することができるプロセスチャンバを提供する。 - 特許庁
To realize low temperature in processes, an increase in throughput and uniform treatment of a large substrate, by improving a light utilization factor.例文帳に追加
光の利用率を高めて、プロセスの低温化、スループットの増大、及び大型基板の均一処理を行う。 - 特許庁
To provide a precursor which can deposit at low temperature via CVD, ALD or other processes for forming films containing silicon oxide or silicon nitride.例文帳に追加
酸化ケイ素又は窒化ケイ素をCVDやALDなどのプロセスにより、低温で堆積できる前駆体を提供する。 - 特許庁
To provide metal piping capable of improving efficiency of a conversion process of high temperature/low temperature processes and a semiconductor manufacturing line using the metal piping.例文帳に追加
高温・低温処理の変換処理の効率性を向上させることのできる金属配管及びその金属配管を用いてなる半導体製造ラインを得る。 - 特許庁
To provide an assembly used in a plasma process chamber that can obtain a stable substrate temperature, with high throughput and low temperature drift in the processes.例文帳に追加
高いスループット及び工程内において温度ドリフトの少ない安定した基板温度を得ることが可能なプラズマ処理チャンバに使用するアセンブリを提供する。 - 特許庁
To provide a method for the gasifying of a water-containing biomass capable of achieving improved gasification ratio by the treatment under a low pressure at a low temperature compared with those of conventional treatment processes.例文帳に追加
従来よりも低温・低圧の処理によって従来よりも高いガス化率を達成できる含水系バイオマスのガス化方法を提供する。 - 特許庁
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「low temperature processes」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 45件
To appropriately control the temperature of a protective shield even in a plasma treatment device of, for instance, dry etching of a high aspect ratio or the like which processes a substrate by keeping the substrate at a relatively low temperature close to room temperature.例文帳に追加
室温近傍の比較的低い温度で基板を維持して加工する、例えば高アスペクト比のドライエッチング等のプラズマ処理装置でも、防護シールドの温度を適切に制御する。 - 特許庁
To solve such a problem that the wall thickness irregularity of a molded article is large, a waiting time is generated in each of processes and the use efficiency of an apparatus in each of processes is low because the temperature control of a mold is difficult.例文帳に追加
金型の温度コントロールが困難であるため、成型品の肉厚のバラツキが大きく、各工程に待ち時間が発生し、各々の工程内での装置使用効率が低い。 - 特許庁
To prevent a clad formed under the low-temperature condition to suppress oxidation of a silicon core from being damaged in subsequent processes.例文帳に追加
シリコンコアの酸化が抑制できる低温条件で形成したクラッドに、この後の工程において損傷が発生しないようにする。 - 特許庁
A thin film transistor (TFT) having excellent transistor characteristic in the low temperature processes may be manufactured uniformly in the wider area with the simplified method.例文帳に追加
低温工程で良好なトランジスタ特性を有するTFTを、簡単な方法で大面積に均一に製造することが出来る。 - 特許庁
To quickly and surely conduct startings especially at a low temperature, and to conduct proper operation using a simple constitution and simple processes.例文帳に追加
特に低温始動を迅速且つ確実に遂行するとともに、簡単な構成及び工程で、良好な運転を行うことを可能にする。 - 特許庁
To provide an inexpensive method for manufacturing a back junction type solar cell having high pn electrode resolution, thin substrate correspondence, and low temperature manufacturing processes.例文帳に追加
高いpn電極解像度、薄い基板対応、低い製造プロセスの裏面接合型太陽電池の低コストな製造方法が求められている。 - 特許庁
To reduce a development period without any need for changing processes when applying a conventional process for forming a logic circuit that has been assembled by low-temperature heat treatment to a low breakdown voltage part by suppressing the increase in mask formation processes.例文帳に追加
マスク形成工程の増加を抑制し、また、低温の熱処理で組み立てられた従来のロジック回路形成用の工程を低耐圧部に適用する際でも工程変更の必要がなく、開発期間の短縮化を図ることができる。 - 特許庁
To provide a purification method of a coal gasification gas, which can surely remove tar components contained in a gas obtained by low-temperature gasification of coal while simplifying processes and reducing costs, thereby contributing to achievement of low-temperature coal gasification, and to provide an apparatus therefor.例文帳に追加
プロセスの簡略化とコストダウンを図りつつ、石炭の低温でのガス化ガスに含まれるタール分を確実に除去し得、石炭低温ガス化の実現化に寄与し得る石炭ガス化ガス精製方法及び装置を提供する。 - 特許庁
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