low pressure chemical vapor deposition methodとは 意味・読み方・使い方

VAPOR DEPOSITION METHOD FOR PERPENDICULARLY ORIENTING CARBON NANOTUBE UTILIZING LOW-PRESSURE-DC-THERMAL CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS例文帳に追加

低圧−ＤＣ−熱化学蒸着法を利用したカーボンナノチューブ垂直配向蒸着方法 - 特許庁

A manufacturing method for an electrode for a storage battery comprises: forming a metal layer including a side edge part on a current collector; and forming, as an active material layer, a crystalline silicon layer including silicon whisker on the current collector and a metal layer by a low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) method for heating by deposition gas including silicon.例文帳に追加

集電体上に、辺縁部を有する金属層を形成し、集電体及び金属層上に、シリコンを含む堆積性ガスを用いて加熱する低圧化学蒸着（ＬＰＣＶＤ：Ｌｏｗ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により、シリコンウィスカを含む結晶性シリコン層を活物質層として形成する蓄電電池用の電極の作製方法である。 - 特許庁

The hydrogen separation membrane is made by heat treatment for alloying after a process of making the porous ceramic support carry Pb by a low temperature metallorganic chemical vapor deposition method with a pressure difference between two ends of the support and a process for making the support carry a metal to be alloyed with Pb by using a solution having a metal source capable of forming an alloy with Pb.例文帳に追加

セラミックス多孔質支持体上に、支持体の両側に圧力差を設けた低温金属有機物化学的気相成長法によりＰｄを担持させる工程およびＰｄと合金を形成し得る金属源を含有する溶液を用いてＰｄと合金化し得る金属を担持させる工程を任意の順序で適用した後、合金化のための熱処理を行って水素分離膜を製造する。 - 特許庁