load lock systemとは 意味・読み方・使い方

LOAD LOCK CHAMBER FOR LARGE AREA SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM例文帳に追加

大面積基板処理システムのためのロードロックチャンバ - 特許庁

To provide a load lock with temperature regulation, a lithography system equipped with a load lock, and a method for producing a substrate using the load lock.例文帳に追加

温度調節付きロード・ロック、ロード・ロックを備えたリソグラフィ装置、およびロード・ロックを用いて基板を製造する方法を提供すること。 - 特許庁

LOAD LOCK SYSTEM AND EXPOSURE TREATMENT SYSTEM, AND FABRICATION METHOD OF DEVICE例文帳に追加

ロードロックシステム及び露光処理システム並びにデバイスの製造方法 - 特許庁

LOAD LOCK CHAMBER PURGE SYSTEM OF NEGATIVE PRESSURE PROCESSING EQUIPMENT AND ITS METHOD例文帳に追加

負圧処理装置のロードロック室パージシステム及びその方法 - 特許庁

LOAD LOCK APPARATUS FOR WAFER JOINING APPARATUS, AND WAFER JOINING SYSTEM例文帳に追加

ウェハ接合装置用のロードロック装置、及びウェハ接合システム - 特許庁

LOAD LOCK MODULE, WAFER PROCESSING SYSTEM, AND WAFER PROCESSING METHOD例文帳に追加

ロードロックモジュール、ウエハ加工処理システム及びウエハの加工処理方法 - 特許庁

LOAD MEASURING AND CONTROL SYSTEM WITH SELECTIVE BOOM-UP LOCK-OUT例文帳に追加

選択的なブームアップロックアウトを備えた負荷測定及び制御システム - 特許庁

To provide a load lock device capable of heating or cooling a base board in favorable performance, a processing system in which the load lock device is incorporated, and a processing method using the load lock device.例文帳に追加

基板を好適に加熱又は冷却できるロードロック装置，該ロードロック装置を備えた処理システム，及び，該ロードロック装置を用いた処理方法を提供する。 - 特許庁