load lock chamberとは 意味・読み方・使い方

LOAD LOCK CHAMBER AND EVACUATION METHOD THEREFOR例文帳に追加

ロードロック室及びその排気方法 - 特許庁

GAS INTRODUCTION MECHANISM AND LOAD LOCK CHAMBER例文帳に追加

ガス導入機構及びロード・ロック室 - 特許庁

LOAD-LOCK CHAMBER AND VACUUM TREATING DEVICE例文帳に追加

ロードロック室及び真空処理装置 - 特許庁

DEVICE FOR INTRODUCING GAS INTO LOAD LOCK CHAMBER例文帳に追加

ロードロックチャンバーへのガス導入装置 - 特許庁

LOAD LOCK CHAMBER, PROCESSING SYSTEM, AND PROCESSING METHOD例文帳に追加

ロードロック室、処理システム及び処理方法 - 特許庁

In the load lock chamber 11B, a heating device 90 for heating the inside of the load lock chamber 11B is provided, and a vacuum pump 15' for evacuating the inside of the load lock chamber 11B is connected to the load lock chamber 11B.例文帳に追加

ロードロック室１１Ｂには、ロードロック室１１Ｂの内部を加熱可能な加熱装置９０が設けられ、ロードロック室１１Ｂ内を排気可能な真空ポンプ１５’が接続されている。 - 特許庁

The load-lock comprises a load-lock chamber, a means for exhausting the load-lock chamber, and a door means for closing the load-lock chamber during exhaust operation and opening the load-lock chamber in order to feed the article into the load-lock chamber or taking out the article therefrom.例文帳に追加

ロード・ロックは、ロード・ロック・チャンバと、このロード・ロック・チャンバを排気する排気手段と、排気時にロード・ロック・チャンバを閉鎖し、かつロード・ロック・チャンバの中へ物体を送り、またはそれから物体を取り出すためにロード・ロック・チャンバを開放するドア手段とを備える。 - 特許庁

METHOD OF OPENING LOAD-LOCK CHAMBER TO ATMOSPHERE, LOAD LOCK DEVICE, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS例文帳に追加

ロードロック室の大気開放方法、ロードロック装置及び半導体製造装置 - 特許庁