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light microsecondとは 意味・読み方・使い方
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The apparatus includes a pulsed, semiconductor laser light source having more than 1000 spatial modes and capable of emitting one or more pulses of radiation with a temporal pulse length between 1 nanosecond and 1 microsecond, a workpiece stage for supporting the workpiece, and an illumination optical system having an exposure field.例文帳に追加
この装置は、１０００より多い空間モードを有し、かつ１ナノセカンドと１マイクロセカンドの間の時間パルス長を伴う１つ以上の放射パルスを放出し得る、パルス化した半導体光源、ワークピースを支持するためのワークピースステージ、および露光領域を有する照明光学系を備える。 - 特許庁
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1
光マイクロセカンド
日英・英日専門用語
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