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laser rapid annealingとは 意味・読み方・使い方
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An amorphous silicon film is irradiated with a laser beam to turn into a crystalline silicon film, and the crystal silicon film is subjected to rapid thermal annealing treatment for obtaining a silicon film having superior crystallinity.例文帳に追加
非晶質珪素膜にレーザー光を照射して非晶質珪素膜に結晶性珪素膜にし、前記結晶性珪素膜にラピッドサーマルアニール処理することで結晶性の良好な珪素膜を得る。 - 特許庁
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