laser irradiation non-uniformityとは 意味・読み方・使い方

To provide a beam irradiation device capable of detecting non-uniformity of irradiation intensity of laser beams on a target region with a simple configuration.例文帳に追加

簡素な構成にて、目標領域上におけるレーザ光の照射強度の不均一性を検出できるビーム照射装置を提供する。 - 特許庁

To prevent non-uniformity of irradiation of a laser beam accompanying a defect of irradiation control, damage by radiation of the laser beam outside a crystallization region and contamination due to generated fine particles when scanning irradiation by driving a substrate stage in crystallization using the continuous oscillation laser beam.例文帳に追加

連続発振レーザー光を用いた結晶化において基板ステージを駆動することによってスキャン照射を行う場合に、照射制御の不良に伴うレーザー光の照射の不均一性や、結晶化領域外へのレーザー光の照射による損傷や発生した微粒子による汚染を抑制する。 - 特許庁