interferometricallyとは 意味・読み方・使い方

The method includes steps for: interferometrically profiling a first surface of the test object with respect to a first datum surface; interferometrically profiling a second surface of the test object with respect to a second datum surface different from the first datum surface; providing a spatial relationship between the first and second datum surfaces; and calculating the geometric property based on the interferometrically profiled surfaces and the spatial relationship between the first and second datum surfaces.例文帳に追加

この方法は、第１基準面に対して、試験対象物の第１表面を干渉法によってプロファイルする工程と、第１基準面とは異なる第２基準面に対して、試験対象物の第２表面を干渉法によってプロファイルする工程と、第１基準面と第２基準面との間の空間的関係を提供する工程と、干渉法によってプロファイルした表面、並びに第１基準面と第２基準面との間の空間的関係に基づいて、試験対象物の幾何学的特性を計算する工程とを含む。 - 特許庁

Conical surfaces (and other complex surface shapes) can be interferometrically characterized using a locally spherical measurement wavefront (e.g., spherical and aspherical wavefronts).例文帳に追加

局部球面測定波面（例えば、球面波面および非球面波面）を使用して、円錐表面（および他の複雑表面形状）を干渉法を使用して特性化することが可能である。 - 特許庁

To determine a geometric property of a test object based on a spatial relationship between first and second datum surfaces in addition to interferometrically profiling a first and second surface of the test object.例文帳に追加

試験対象物の第１及び第２表面を干渉法によってプロファイルすることに加えて、第１基準面と第２基準面との間の空間的関係に基づき、試験対象物の幾何学的特性を測定する。 - 特許庁

When a distance from a body of an interferometer to an object 110 or displacement is interferometrically measured by using laser beams of a plurality of wavelengths, obtaining interference measurement values that are measured at respective wavelengths, and expanding a measurement range by a synthetic wavelength that is equivalently longer than the wavelengths of the laser beams from combinations of the respective wavelengths, the wavelengths of the plurality of laser beams are measured by using an optical comb 104.例文帳に追加

複数の波長のレーザ光により、各波長で測定される干渉測定値を得て、各波長の組み合わせからレーザ光の波長よりも等価的に長い合成波長で測定レンジを拡大して、干渉計本体から対象物１１０までの距離または変位を干渉測定する際に、複数のレーザ光の波長を、光コム１０４を用いて測定する。 - 特許庁