inorganic resistとは 意味・読み方・使い方

After that, a resist film 13 is formed on the inorganic antireflection film 12, and then the resist film 13 is subjected to pattern exposure and is developed, to form a resist pattern 17.例文帳に追加

次に、レジスト膜１３に対してパターン露光を行なった後、パターン露光されたレジスト膜１３を現像してレジストパターン１７を形成する。 - 特許庁

After removal of the resist 7, a groove pattern is formed on the inorganic anti-reflection film 6 by the photolithographical process with use of a resist 8.例文帳に追加

レジスト７除去後、無機反射防止膜６上に、フォトリソグラフィによりレジスト８を用いて溝パターンを形成する。 - 特許庁

To suppress the formation of a crystalline interfacial layer between an inorganic resist layer and a substrate or a layer under the resist layer.例文帳に追加

無機レジスト層とその下地基材又は下地層との間における結晶性の界面層の形成を抑制する。 - 特許庁

To provide an additive which can easily clean at a low temperature and in a short period of time a resist film applied on an inorganic substrate, the resist film remaining after etching the resist film applied on the inorganic substrate, or the resist residue or the like remaining by performing ashing after etching the resist film.例文帳に追加

無機質基体上に塗布されたレジスト膜、または無機質基体上に塗布されたレジスト膜をエッチング後に残存するレジスト膜、あるいはレジスト膜をエッチング後にアッシングを行い残存するレジスト残渣物等を低温、短時間で容易に洗浄できるようにする添加剤を提供すること。 - 特許庁

INORGANIC RESIST PATTERN, METHOD OF FORMING INORGANIC RESIST PATTERN, OPTICAL MASTER DISK, METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL MASTER DISK, METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL DISK PATTERN AND METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL DISK SUBSTRATE例文帳に追加

無機レジスト・パターン、無機レジスト・パターンの形成方法、光ディスク原盤、光ディスク原盤の製造方法、光ディスク・スタンパの製造方法及び光ディスク基板の製造方法 - 特許庁

The optical master disk processing liquid is provided for removing the rugged pattern (an inorganic resist layer 3) of the optical master disk 1, the rugged pattern being formed on a substrate 2 with the inorganic resist.例文帳に追加

基板２上に無機レジストにより凹凸パターン（無機レジスト層３）が形成された光ディスク原盤１の凹凸パターンを除去するための光ディスク原盤処理液である。 - 特許庁

By etching with the first resist pattern 8 as a mask, a connection hole pattern is formed in the inorganic stopper layer 7 and the first insulation film 6.例文帳に追加

第１のレジストパターン８上から有機絶縁膜５をエッチングする。 - 特許庁

An inorganic ion exchanger is added to a resin composition forming the solder resist.例文帳に追加

ソルダーレジストを形成する樹脂組成物に無機イオン交換体が添加されている。 - 特許庁