impurity activation energyとは 意味・読み方・使い方

This way, effective energy density in the semiconductor film can be raised, so it becomes possible to perform the recovery of crystal properties and the activation of impurity elements.例文帳に追加

このようにして、前記半導体膜において実効的なエネルギー密度を高くすることで、結晶性の回復および不純物元素の活性化を行なうことを可能とする。 - 特許庁

To provide a laser irradiation device for emitting laser light having a uniform distribution of energy density on an irradiated surface and a laser irradiating method used for the device and to provide a method for manufacturing a semiconductor device using a semiconductor film obtained by the crystallization of a semiconductor film or the activation of impurity elements by such a laser irradiating method.例文帳に追加

本発明は、照射面におけるエネルギー密度の分布が均一なレーザ光を形成するためのレーザ照射装置およびそれを用いるレーザ照射方法を提供し、このようなレーザ照射方法により、半導体膜の結晶化や不純物元素の活性化を行って得られた半導体膜を用いて半導体装置を作製する方法を提供することを課題とする。 - 特許庁