hot ion plasmaとは 意味・読み方・使い方

The hot cathode 10 is inserted into a plasma generating vessel 4 along a length direction of a narrow ion extraction port 6.例文帳に追加

熱陰極１０は、細長いイオン引出し口６の長手方向に沿うようにプラズマ生成容器４内に挿入されている。 - 特許庁

An ion gun 11 introduces Ar gas from a gas introduction part 114 into a body 111, and generates D.C. hot cathode discharge between a filament 113 and an anode 112 to generate plasma of Ar.例文帳に追加

イオンガン１１は、ガス導入部１１４よりＡｒガスを本体１１１内に導入し、フィラメント１１３とアノード１１２との間で直流熱陰極放電をおこし、Ａｒのプラズマを生成する。 - 特許庁

The ion source 2 further includes a gas supply mechanism supplying raw material gas 8 inside the inner conductor 14 of the hot cathode 10 and releasing it into the plasma generating vessel 4 from the tip of the inner conductor 14.例文帳に追加

このイオン源２は更に、熱陰極１０の内部導体１４内に原料ガス８を供給してそれを内部導体１４の先端からプラズマ生成容器４内へ放出させるガス供給機構を備えている。 - 特許庁