high vacuum systemとは 意味・読み方・使い方

An evacuation system of the analysis apparatus 10 includes a roughing vacuum pump 50, and a turbo molecular pump 30 including a low vacuum side stage 32 and a high vacuum side stage 31.例文帳に追加

分析装置１０の真空排気系は、粗引ポンプ５０、及び低真空側段３２と高真空側段３１とを含むターボ分子ポンプ３０を有する。 - 特許庁

The manufacturing device of a lighting device has a vacuum chamber, an exhaust system to decompress or makes the vacuum chamber high vacuum condition, and a transfer chamber which transfers a substrate to the vacuum chamber.例文帳に追加

真空室と、真空室を減圧あるいは高真空状態とする排気系と、真空室へ基板を搬送する搬送室と、を有する照明装置の製造装置を提供する。 - 特許庁

To provide a substrate transfer system for a vacuum treatment device which realizes high production efficiency.例文帳に追加

高い生産効率を実現する真空処理装置用の基板搬送システムを提供する。 - 特許庁

To provide a high cleanliness space forming device with less contamination even for a vacuum chucking system.例文帳に追加

真空チャック方式でも汚染の少ない高清浄空間形成装置を実現する。 - 特許庁

To provide a vacuum film depositing system capable of performing film deposition at a low temperature and high in productivity.例文帳に追加

低温で成膜が可能でかつ生産性の高い真空成膜装置を提供する。 - 特許庁

Since the reticle stage and its drive system are contained entirely in the vacuum chamber 4, no movable section penetrates the vacuum chamber 4 and a high vacuum can be kept easily in the vacuum chamber 4.例文帳に追加

レチクルステージとその駆動系全体が真空チャンバー４内に収納されているので、可動部分が真空チャンバー４を貫通することが無く、真空チャンバー４内を高度の真空に保つことが容易である。 - 特許庁

To provide a vacuum valve by which the function of releasing an excessively high pressure can be achieved at low cost in a vacuum system, and a cryopump provided with such a vacuum valve.例文帳に追加

過度の高圧を解放する機能を真空システムに低コストに実現することを可能とする真空バルブ、及びそうした真空バルブを備えるクライオポンプを提供する。 - 特許庁

A plasma treatment system has this plasma source for efficiently coupling high-frequency energy to plasma in a vacuum treatment space of a vacuum chamber.例文帳に追加

プラズマ処理システムは、真空チャンバーの真空処理空間内のプラズマに高周波エネルギーを効率的に結合させるプラズマ源を有する。 - 特許庁