heterodyne interferometerとは 意味・読み方・使い方

To provide an inexpensive interferometer system that is used also in a heterodyne interferometer.例文帳に追加

ヘテロダイン干渉計にも用いられる安価な干渉計システムを提供すること。 - 特許庁

HETERODYNE LASER INTERFEROMETER FOR MEASURING PARALLEL DISPLACEMENT OF WAFER STAGE例文帳に追加

ウェハステージの平行移動を測定するヘテロダインレーザ干渉計 - 特許庁

SHAPE MEASURING APPARATUS USING HETERODYNE INTERFEROMETER, METHOD OF ADJUSTING OPTICAL PATH LENGTH OF THE SHAPE MEASURING APPARATUS USING THE HETERODYNE INTERFEROMETER, AND METHOD OF MEASURING SHAPE USING THE HETERODYNE INTERFEROMETER例文帳に追加

ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置、ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置の光路長調整方法、及びヘテロダイン干渉計を用いた形状測定方法 - 特許庁

HETERODYNE LASER DOPPLER INTERFEROMETER WITH OPTICAL EXCITATION FUNCTION FOR SAMPLE例文帳に追加

試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計 - 特許庁

Oscillatory displacement is detected using a heterodyne interferometer 130.例文帳に追加

振動変位検出にはヘテロダイン干渉計１３０を用いている。 - 特許庁

To improve the measurement accuracy and repeatability of an optical heterodyne interferometer.例文帳に追加

光ヘテロダイン干渉計の測定精度や再現性を向上する。 - 特許庁

MIREAU INTERFEROMETER TYPE VERTICAL SECTION IMAGE MEASURING DEVICE BY HETERODYNE DETECTION例文帳に追加

ヘテロダイン検出によるミロー干渉計型鉛直断面画像測定装置 - 特許庁

HETERODYNE LASER INTERFEROMETER EQUIPPED WITH PORRO PRISM FOR MEASURING DISPLACEMENT OF STAGE例文帳に追加

ステージの変位を測定するためのポロプリズムを備えたヘテロダイン・レーザ干渉計 - 特許庁