global alignmentとは 意味・読み方・使い方

To keep an alignment precision at high level always by correcting an alignment error caused by difference of stress on a main body by a main body supporting means if global alignment sequences are different between substrates at processing of a lot.例文帳に追加

ロットを処理する際に、基板間でグローバルアライメントシーケンスが異なる場合、本体支持手段が本体に及ぼす力が基板間で異なることによるアライメント誤差を補正し、アライメント精度を常に高レベルで維持することができるようにする。 - 特許庁

To provide a technology used for performing global alignment (detection of displacement and rotation of a wafer) stably and automatically by using an optical microscope.例文帳に追加

光学顕微鏡を用いたグローバルアライメント（ウェーハの位置ずれ・回転検出）を安定かつ自動に行う技術を提供する。 - 特許庁

To provide an exposure apparatus for simultaneously conducting highly accurate measurement of global alignment and focus mapping and also provide a method for manufacturing a device using the same exposure apparatus.例文帳に追加

グローバルアライメント、フォーカスマッピングの高精度の同時計測を行える露光装置、これを用いるデバイス製造方法を提供する。 - 特許庁

The alignment mark has a first mark that can be utilized in global alignment measurement regarding a scribe line direction, and a second mark that can be utilized in prealignment measurement regarding the direction that orthogonally crosses the scribe line direction.例文帳に追加

アライメントマークは、スクライブライン方向に関してグローバルアライメント計測に利用可能な第１マークと、スクライブライン方向に直交する方向に関してプリアライメント計測に利用可能な第２マークを有する。 - 特許庁

Processing order of prealignment final shot and global alignment first shot is determined such that the stage step driving time from the final processing shot of prealignment to the first processing shot of global alignment ends within the driving time of an object being driven in parallel.例文帳に追加

プリアライメントの最後に処理するショットからグローバルアライメントで最初に処理するショットへのステージステップ駆動時間が、並行して駆動している駆動物の駆動時間内に終るように、プリアライメント最終ショットとグローバルアライメント第１ショットのサンプルショットの処理順番を決定する。 - 特許庁

To make it possible to perform an enhanced global alignment while abnormal data is being removed even in the case wherein the destressing affects scaling.例文帳に追加

応力開放がスケーリングに影響を与える場合でも異常なデータを適切に削除しつつエンハンスグローバルアライメントを行えるようにする。 - 特許庁

A plurality of patterns having priorities are registered to the recipe as the matching patterns of a global alignment point at the time of generating the recipe from the CAD data.例文帳に追加

CADデータからレシピを作成する際に、グローバルアライメント点のマッチング用パターンとして、優先度をつけた複数のパターンをレシピに登録する。 - 特許庁

To provide a method for analyzing the behavior of front side marks on a substrate, during a process of manufacturing a device, without the need for etching global alignment marks.例文帳に追加

グローバル・アライメント・マークをエッチングする必要なしにデバイス作製プロセス中に基板上の表面マークの挙動を分析する方法を提供すること。 - 特許庁