gas jet vacuum pumpとは 意味・読み方・使い方

A reaction chamber is provided with at least one gas inlet for a reaction gas and at least one jet outlet (JL) communicating with a substrate chamber (VC), and the substrate chamber is provided with a pump evacuation system which keeps vacuum in the substrate chamber to be lower in pressure than the operation pressure of gas reaction in the reaction chamber.例文帳に追加

反応チャンバ（ＧＣ）は少なくとも１つの反応ガスのガス入口（ＧＬ）と基板チャンバに通じる少なくとも１つの射出出口（ＪＬ）を有し、一方で、基板チャンバ（ＶＣ）は、基板チャンバ内の真空を反応チャンバ（ＧＣ）のガス反応の動作圧力より高くない圧力に維持するポンプ排気システム（ＰＰ）を備えている。 - 特許庁

The resist peeling device includes a wafer support 102, a valve 104 provided on an exhaust pipe, a waste liquid pipe 105, a steam generator 107, a steam jet nozzle 108, a valve 109 provided on a gas pipe, a vacuum pump 110, and a nozzle 111 for rinsing.例文帳に追加

本発明のレジスト剥離装置は、ウエハの支持台１０２、排気配管に設けたバルブ１０４、廃液配管１０５、スチームの発生装置１０７、スチームの噴出ノズル１０８、ガス配管に設けたバルブ１０９、真空ポンプ１１０、リンス用のノズル１１１を備えている。 - 特許庁