gas analyserとは 意味・読み方・使い方

To maintain the capability of an ICP analyser to perform a treatment, eliminate waste consumption of energy and argon gas and enable stable analysis.例文帳に追加

ＩＣＰ分析装置の処理能力を維持してエネルギーやアルゴンガスの浪費をなくし、かつ安定な分析を可能にする。 - 特許庁

A filter element unit 7, having a filter element 11, is constituted so as to be taken in and out of a gas analyser 1 through the slit 6 provided in the front panel 2 attached to the front of the gas analyser 1 by a slot-in system, so that the front surface and a filter surface become substantially right- angled.例文帳に追加

フィルタエレメント１１を有するフィルタエレメントユニット７が、前面にあるフロントパネル２に設けられたスリット６から、前面とフィルタ面とが実質的に直角をなすようにスロットイン方式で出し入れ可能に構成されている。 - 特許庁

With this constitution, the area of the front panel 2 can be reduced and the gas analyser 1 can be miniaturized, to achieve space saving.例文帳に追加

これにより、フロントパネル２の面積を小さくできるので、ガス分析装置１を小型化して省スペース化を図ることができる。 - 特許庁

To provide a manufacturing apparatus for semiconductor device including an infrared spectroscopic analyser exhibiting small analysis errors for measured values of gas concentration of an exhaust gas exhausted from a gas processing chamber, and a gas concentration analysis method using the apparatus.例文帳に追加

ガス処理チャンバーから排出される排出ガスのガス濃度の測定値に関して、分析誤差が少なくなる赤外分光分析装置含む半導体装置の製造装置及びそれを用いたガス濃度分析方法を提供する。 - 特許庁

To realize a zirconia type oxygen analyser capable of preventing a dangerous state such as a fire from occurring, even in the case unburned gas flows into an exhaust channel or the like in gas combustion facilities.例文帳に追加

ガス燃焼設備における排気通路などに未燃焼ガスが流入した場合においても、火災発生の危険を防止することのできるジルコニア式酸素濃度計を実現する。 - 特許庁

This manufacturing is provided with the gas processing chamber 20 for manufacturing by processing a target object with a gas and exhausting the exhaust gas used for the manufacturing process, and the infrared spectroscopic analyser 10 for analyzing the exhaust gas exhausted from the gas processing chamber 20.例文帳に追加

本発明の半導体装置の製造装置は、対象物をガスで処理することによって製造処理を行い、製造処理に用いた排出ガスを排出するガス処理チャンバー２０と、ガス処理チャンバー２０から排出される排出ガスを分析する赤外分光分析装置１０と、を備える。 - 特許庁

In an infrared gas analyser wherein a pressure pump 17 is provided to the line 10 supplying sample gas S to a gas analyzing part 12, one critical flow Venturi 18 is provided on the upstream side of the sample gas supplying line 10 and other critical flow Venturi 19 is provided to the gas discharge line 11 of the gas analyzing part 12.例文帳に追加

ガス分析部１２に試料ガスＳを供給するライン１０に加圧ポンプ１７を設けた赤外線ガス分析装置において、前記試料ガス供給ライン１０の加圧ポンプ１７より上流側に一つのクリチカルフローベンチュリ１８を設けるとともに、ガス分析部１２のガス排出ライン１１に他のクリチカルフローベンチュリ１９を設けた。 - 特許庁

Thereafter, when humidity by a dew-point hydrometer 32 and oxygen concentration by the oxygen concentration analyser 35 become lower than specified points, this inert gas is delivered to a gas pressure flow rate control device 36, and therefrom it is delivered again to an inert gas supply passage 5.例文帳に追加

そして、露点計３２による湿度の値、及び酸素濃度分析計３５による酸素濃度の値が一定位置以下になると、この不活性ガスはガス圧・流量制御装置３６に送り込まれ、ここから再び不活性ガス供給路５に送出される。 - 特許庁