etching dischargeとは 意味・読み方・使い方

COMPOSITE BODY FOR DRY ETCHING, METHOD FOR FORMING DRY ETCHING PRODUCT, AND METHOD FOR PRODUCING NOZZLE PLATE FOR LIQUID DISCHARGE HEAD例文帳に追加

ドライエッチング用複合体、ドライエッチング製品の形成方法及び液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法 - 特許庁

Furthermore, gas 20 for electric discharge is introduced to the etching chamber 10.例文帳に追加

さらに、エッチングチャンバ１０内には、放電用ガス２０が導入されている。 - 特許庁

Further, by detecting abnormal discharge simultaneously with the detection of the etching endpoint, disturbance is removed and the stabilization in the detection of the etching endpoint can be achieved.例文帳に追加

また、異常放電を同時に検出することにより、外乱を排除し、エッチング終点検出の安定化を達成する。 - 特許庁

A discharge step is executed by stacking a thin film layer on a sacrificial layer 2, and etching a discharge hole thereafter inside the thin film layer.例文帳に追加

薄膜層を犠牲層２上に堆積し、その後放出孔を薄膜層内でエッチングし放出工程を実施する。 - 特許庁

A cathode 5, an anode 6 and a seal device 9 are provided to the chamber 3 of the etching device 2, and an etching solution supply pipe 7 and an etching solution discharge pipe 8 are connected.例文帳に追加

エッチング装置２のチャンバー３には、陰電極５、陽電極６及びシール装置９が設けられ、エッチング液供給管７及びエッチング液排出管８が接続される。 - 特許庁

To provide a VHF electrode suppressing arc discharge and having improved etching uniformity.例文帳に追加

アーク放電を抑制し、エッチング均一性が向上したＶＨＦ電極を提供する。 - 特許庁

Etching liquid is supplied into an etching tank 45 through a supply section 35 fitted onto a lower surface, a wafer back arranged on the support rest 42 at the upper end of an etching dam is uniformly etched by the flow of the etching liquid, and the etching liquid for generating surface tension after the etching is completed is discharged from the etching tank 45 through a first discharge section 47.例文帳に追加

下部面に装着された供給部３５を通してエッチング槽４５内部にエッチング液を供給してエッチングダム上端の支持台４２上に配置されたウェーハ背面をエッチング液の流れにより均一にエッチングし、エッチング終了後に表面張力を発生させるエッチング液を第１排出部４７を通してエッチング槽４５から排出させる。 - 特許庁

First etching gas is supplied into the reaction chamber and plasma is generated by discharge from the plasma etching system in order to etch the antireflection film 2.例文帳に追加

反応室内に第１のエッチングガスを供給し、プラズマエッチング装置からの放電によりプラズマを生成して反射防止膜２をエッチングする。 - 特許庁