electron energy distributionとは 意味・読み方・使い方

The observation step acquires the SEM image by selectively detecting a secondary electron within an energy range E1 which includes a peak P21 of an energy distribution G21 of the secondary electron emitted from the p-type semiconductor region and does not include a peak P22 of an energy distribution G22 of the secondary electron emitted from the n-type semiconductor region.例文帳に追加

観察工程の際、ｐ型半導体領域から放出される二次電子のエネルギー分布Ｇ２１のピークＰ２１を含み、且つｎ型半導体領域から放出される二次電子のエネルギー分布Ｇ２２のピークＰ２２を含まないエネルギー範囲Ｅ１の二次電子を選択的に検出することにより、ＳＥＭ像を取得する。 - 特許庁

To provide equipment which takes photos of element distribution and spectrum with high space resolution and high-energy resolution using a transmission type electron microscope having an energy filter.例文帳に追加

エネルギーフィルタ式透過型電子顕微鏡を用いて、高空間分解能、高エネルギー分解能で元素分布やスペクトルを撮影する装置を提供する。 - 特許庁

To provide a resist pattern forming method in which stored energy distribution in a resist film is generated in electron beam lithography while taking influence of front scatter and back scatter of electron beam scatter into consideration, and the energy distribution is applied to optimization of exposure conditions and a pattern size.例文帳に追加

電子線リソグラフィにおいて、電子線散乱による前方散乱と後方散乱の影響を考慮したレジスト膜中の蓄積エネルギー分布を作成し、露光条件やパターンサイズの最適化に適用し、レジストパターンを形成する方法を提供する。 - 特許庁

Electron beam intensities are found with respect to three different energy loss areas in total, that is, two energy loss areas including no core loss electrons and one energy loss area including core loss electrons, and element distribution is found based on the three areas and the electron beam intensities.例文帳に追加

コアロス電子を含まない２つのエネルギーロス領域、コアロス電子を含む１つのエネルギーロス領域の、合計３つの異なるエネルギーロス領域の電子線強度を求め、当該３つのエネルギーロス領域と電子線強度に基づいて、元素分布を求める。 - 特許庁

To provide a field emission type electron source and its manufacturing method whereby it is possible to establish a large emission current, a high electron emitting efficiency, and a less spread of the energy distribution of emitted electrons.例文帳に追加

エミッション電流が大きくて電子放出効率が高く、放出電子のエネルギ分布の広がりが小さな電界放射型電子源およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

When measuring an angle distribution of electron scattering in a crystal sample which is an evaluation target, an azimuth distribution of the scattering line intensity is measured by using only electrons in a specific energy range.例文帳に追加

評価の対象となる結晶試料における電子散乱の角度分布を測定するに際し、特定のエネルギー範囲の電子のみを用いて散乱線強度の方位分布を測定する。 - 特許庁

Accordingly, a window 10 formed of the material having the atomic number smaller than metal is used for the emitting port of the electron beam, whereby the distribution of an electron beam irradiation device minimized in energy loss can be realized.例文帳に追加

従って金属よりも原子番号の小さい物質からなる窓１０を電子線の出射口に用いることによりエネルギー損失の少ない電子線照射装置の提供を実現できる。 - 特許庁

Optical energy can be obtained by modulating a spacial distribution in a wave function of at least one of an electron and a hole by contact of at least two of fine particles.例文帳に追加

少なくとも２つの微粒子の接触により電子および正孔の少なくとも一方の波動関数の空間分布を変調して光エネルギーを得る。 - 特許庁