dry oxidationとは 意味・読み方・使い方

After that, the substrate is fitted to a resistance heating furnace and is heated at 800-1000°C, thus forming a silicon oxide film 14 by the wet oxidation method or the dry oxidation method (d).例文帳に追加

その後、基板を抵抗加熱炉に装着して８００〜１０００℃の温度に加熱してウェット酸化法又はドライ酸化法にてシリコン酸化膜１４を形成する（ｄ）。 - 特許庁

In addition the formation of the notches is performed by oxidation or dry etching, such as the CDE, etc., using a mask.例文帳に追加

また、このような切り欠き形状の形成をマスクを用いた酸化処理もしくはＣＤＥなどのドライエッチングにより行う。 - 特許庁

It is preferred that the at least sidewalls of the etched semiconductor film are subjected to an oxidation processing, before performing the dry etching.例文帳に追加

ドライエッチングを行う前に、少なくともエッチングされた半導体膜の側壁を酸化処理することが好ましい。 - 特許庁

To provide a tool and method for coating a hard film with high resistance to oxidation, capable of improving oxidation resistance and abrasion resistance, as compared to the conventional hard film, exhibiting sufficient oxidation resistance and abrasion resistance with a single layer, and attaining high compatibility with dry and high speed cutting.例文帳に追加

従来の硬質皮膜に対し、更に耐酸化性、耐摩耗性を改善し、単層で十分な耐酸化性及び耐摩耗性を発揮し、切削加工の乾式化、高速化に対応した硬質皮膜被覆工具及び硬質膜被覆方法を提供。 - 特許庁

Metal oxidation and dry etching are employed as a means for changing the size of a gate electrode to be used as a mask during implantation of impurities.例文帳に追加

不純物を注入する際のマスクとして使用するゲート電極の寸法を変える手段として、金属酸化やドライエッチングを利用する。 - 特許庁

Rapid thermally oxidization is performed in a rapid heating method, and as preferred conditions, a lamp annealing device be used, oxidation temperature in dry oxygen be 800°C to 900°C, and oxidation time be 30 to 120 minutes.例文帳に追加

急速熱酸化は急速加熱法により行い、条件としては、ランプアニール装置を使用し、乾燥酸素中で酸化温度を８００℃ないし９００℃、酸化時間を３０分ないし１２０分とすることが望ましい。 - 特許庁

To provide a rotation type substrate drying machine that can quickly dry a substrates while preventing oxidation in a drying process.例文帳に追加

乾燥工程における基板の酸化を防止すると共に、基板を迅速に乾燥させることが可能な回転式基板乾燥装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

Temperature of the adsorbent is detected while making moisture in exhaust gas be adsorbed to the dry adsorbent 28 when it is not oxidation deterioration.例文帳に追加

また、酸化劣化ではない場合には、乾燥状態の吸着材２８に対して排気ガス中の水分を吸着させつつ、吸着材の温度を検出する。 - 特許庁