dry holeとは 意味・読み方・使い方

The nitride film of the contact hole bottom is removed by dry etching, such as RIE.例文帳に追加

その後、コンタクトホール底部の窒化膜をＲＩＥ等のドライエッチングで除去する。 - 特許庁

Then, the interlayer insulation film 11 is dry-etched (Figure 1B) to form a contact hole 12.例文帳に追加

次に、層間絶縁膜１１をドライエッチングし（図１Ｂ）、コンタクトホール１２を形成する。 - 特許庁

Dry air 56 is blown to the wet film 25a through a blow-out hole 57a.例文帳に追加

乾燥風５６は吹出孔５７ａを介して湿潤フイルム２５ａに吹き付けられる。 - 特許庁

A hole 3a in a cylindrical shape after caulking is formed in a shaft portion 3c of a hub unit 103, and a female spline is formed in the hole 3a by semi-dry or dry-broaching after caulking.例文帳に追加

ハブユニット１０３の軸部３ｃに、加締め後に円筒形状になる孔３ａを設け、加締め後、セミドライもしくはドライブローチ加工により孔３ａに雌スプラインを形成する。 - 特許庁

In a method for detecting a dry etching endpoint, spectral analysis of plasma-emitted light is used in a dry etching process of a contact hole or the like.例文帳に追加

ドライエッチング終点検出方法であって、コンタクトホール等のドライエッチング工程において、プラズマ発光のスペクトル分析を利用するものである。 - 特許庁

The upper sacrifice layer 34 is removed by dry-etching via the upper through hole 18.例文帳に追加

そして、上部犠牲層３４は、上貫通孔１８を介するドライエッチングにより除去される。 - 特許庁

In the method to suspend the ceramic molding and dry or bake it, a support tool 20 is inserted in the through hole 11 of the ceramic molding 10.例文帳に追加

セラミックス成形体１０の貫通孔１１内に支持治具２０を挿入する。 - 特許庁

To obtain a hole pattern having a round form by dry-etching a film to be etched using a hole pattern formed of a chemical amplification type resist as a mask in order to form the hole pattern.例文帳に追加

化学増幅型レジストによるホールパターンをマスクとしてドライエッチングを行って被エッチング膜によるホールパターンを形成し、丸型のホールパターン形状を得るようにする。 - 特許庁