dishingsとは 意味・読み方・使い方

To provide the manufacturing method of a semiconductor device, which can suppress 'dishings' while suppressing an increase in 'scratchings'.例文帳に追加

“スクラッチング”の増加を抑制しつつ、“ディッシング”を抑制できる半導体装置の製造方法を提供をすること。 - 特許庁

To provide a composition for polishing a metal, a planarization method and a semiconductor substrate manufacturing method of a metal film on a semiconductor substrate using a composition having the capability to polish fast a metal film even under a low-load condition and further to restrain defect such as scratches dishings or the like from generating on polished surfaces.例文帳に追加

半導体基板上の金属膜を平坦化する工程において、低荷重条件下においても金属膜を高速に研磨し、かつスクラッチ、ディッシング等研磨面の欠陥の発生も抑制できる金属用研磨組成物およびそれを用いてなる半導体基板上の金属膜の平坦化方法ならびに半導体基板の製造方法を提供する。 - 特許庁