chamber Sとは 意味・読み方・使い方

A test piece S is sandwiched between an atmospheric chamber 11a and a vacuum chamber 12a, and the atmospheric chamber 11a and the vacuum chamber 12a are sealed from the outside air.例文帳に追加

試験片Ｓを雰囲気チャンバ１１ａと真空チャンバ１２ａの間に挟持し、雰囲気チャンバ１１ａと真空チャンバ１２ａを外気から密閉する。 - 特許庁

A spiral groove 4MD on the lower side at the seal part S biases the gas at the seal part S to a bearing chamber M side.例文帳に追加

シール部Ｓにおける下方の螺旋溝４ＭＤはシール部Ｓのガスを軸受室Ｍ側に付勢する。 - 特許庁

A working chamber S for allowing an operator to carry out a prescribed operation by entering the chamber S is formed in an attachment 3 linkable to the rear part of a traveling body 1.例文帳に追加

走行機体１の後部に連結可能なアタッチメント３に、作業者が入室して所定の作業を行うための作業部屋Ｓを形成する。 - 特許庁

Thereafter, a transfer mechanism 650 transfers the specimen S into the observation chamber 70.例文帳に追加

その後搬送機構６５０は、観察室７０へ試料Ｓを搬送する。 - 特許庁

A shower plate 24 divides a space S in a chamber body 21 into two to form a first chamber S1 forming a film and a second chamber S2 excluding the first chamber S1.例文帳に追加

シャワープレート２４が、チャンバ本体２１の空間Ｓを２つに区画し、成膜を行う第一室Ｓ１と、第一室Ｓ１を除く第二室Ｓ２とを形成する。 - 特許庁

A latch unit has a casing 1 provided with a holding chamber 11 and a side chamber 17 of a striker S, and a respondent body 2 fitted into the side chamber 17.例文帳に追加

ストライカＳの保持室１１と側方室１７とを備えるケーシング１と、側方室１７内に収められる応動体２とを有している。 - 特許庁

A swirl flow control valve generates a swirl flow S in the combustion chamber.例文帳に追加

スワール流コントロールバルブにより、燃焼室内にスワール流Ｓを発生させる。 - 特許庁

The semiconductor manufacturing apparatus comprises a deposition chamber 2 for forming an SiC epitaxial film on a wafer W loaded on a susceptor S and a cleaning chamber 5 connected to the deposition chamber 2 via a transportation chamber 4 having a transportation robot 17 transporting the susceptor S and removing an SiC film adhered to the susceptor S.例文帳に追加

サセプタＳに載置されるウェハＷ上にＳｉＣエピタキシャル膜を形成する成膜室２と、サセプタＳが搬送される搬送用ロボット１７を有する搬送室４を介して成膜室２に連結され、サセプタＳに付着したＳｉＣ膜を除去するクリーニング室５とを有する。 - 特許庁