cathode plasmaとは 意味・読み方・使い方

To produce dense plasma by optimizing a cathode electrode.例文帳に追加

カソード電極を最適化して高密度なプラズマを生成する。 - 特許庁

MULTIPLE FREQUENCY PLASMA CHAMBER WITH GROUNDING CAPACITOR AT CATHODE例文帳に追加

陰極に接地コンデンサを有する多重周波数プラズマチャンバ - 特許庁

MASK ETCHING PLASMA REACTOR WITH CATHODE OF UNIFORM ETCHING RATE DISTRIBUTION例文帳に追加

均一なエッチング速度分布の陰極を備えたマスクエッチングプラズマリアクタ - 特許庁

CATHODE LINER ADAPTED FOR INJECTING GAS AT WAFER EDGE IN PLASMA REACTOR CHAMBER例文帳に追加

プラズマリアクタチャンバにおいてウェハ縁端部でガスを注入するカソードライナ - 特許庁

For the formation of the amorphous silicon-base film, plasma electron temperature is controlled and the plasma CVD apparatus cathode electrode is heated.例文帳に追加

また、アモルファスシリコン系膜の製膜過程において、プラズマＣＶＤ装置のカソード電極を加熱する。 - 特許庁

CATHODE-COUPLING PLASMA CVD EQUIPMENT AND THIN FILM MANUFACTURING METHOD BY IT例文帳に追加

カソードカップリング型プラズマＣＶＤ装置及びそれによる薄膜製造方法 - 特許庁

A coaxial magnetron cathode 34 which is a kind of cold cathode is employed as a means for generating a plasma.例文帳に追加

プラズマを発生させるための手段として、一種の冷陰極である同軸マグネトロンカソード３４を採用する。 - 特許庁

The other irradiation condition includes the cathode voltage, the distance between a cathode and a target, and the pressure of ionized gas for plasma.例文帳に追加

他の照射条件とは、カソード電圧、カソードとターゲットの距離、プラズマ化する電離ガスの圧力などである。 - 特許庁