carrier pipingとは 意味・読み方・使い方

In the heat treatment apparatus, the connecting configuration between an exhaust piping part in the semiconductor wafer carrier and the separation/junction part of an external piping to be inserted to a cabinet is a shield method using an O ring.例文帳に追加

半導体ウェハ熱処理装置においては、半導体ウェハ搬送部における排気用配管部分と筐体に挿入される外部配管の分離・結合部分との接続形態は、Оリングを用いたシールド方式としている。 - 特許庁

An exhaust port 192 is disposed in a lower part of the carrier robot 120 and is connected with the air conditioner 191 through piping 193.例文帳に追加

搬送ロボット１２０の下方部に排気口１９２が設けられるとともに、排気口１９２が配管１９３を介して空調器１９１に接続されている。 - 特許庁

The cross section area of piping 11 is optimized based on the flow rate and the viscosity coefficient of carrier gas and the flow rate and the viscosity coefficient of the merged liquid state raw material.例文帳に追加

配管１１の断面積がキャリアガスの流量および粘性係数と、合流した液体状原料の流量および粘性係数とに基いて最適化されている。 - 特許庁

To provide a heat carrier reducing the adsorption of surfactant molecules on piping or the like to reduce the decrease of concentration of the surfactant in an aqueous solution.例文帳に追加

界面活性剤分子の配管などへの吸着を少なくし、水性溶液中の界面活性剤の濃度低下を抑えることができる熱搬送媒体を提供すること。 - 特許庁

The method for transporting the seed powder comprises transporting the seed powder with the carrier gas to the gas phase fluidized bed type polymerization reactor for the olefin through the piping whose inner surface comprises the fluororesin.例文帳に追加

内面が弗素樹脂から成る配管を用いて種パウダーをキャリアガスでオレフィン類の気相流動床式重合反応器に移送する種パウダーの移送方法。 - 特許庁

A liquid state raw material supply machine is provided with raw material containers 1a to 1c, a THF container 1d, piping 10 connecting the respective raw material containers 1a to 1c, the respective raw material state raw materials and carrier gas to a place where they are merged, and piping 11 connecting the place where the respective liquid state raw materials and carrier gas are merged to a vaporizer 14.例文帳に追加

液体状原料供給機は、原料容器１ａ〜１ｃ、ＴＨＦ容器１ｄ、各原料容器１ａ〜１ｃと各液体状原料とキャリアガスとがすべて合流する箇所までを接続する配管１０、各液体状原料とキャリアガスとがすべて合流した箇所から気化器１４までを接続する配管１１を備えている。 - 特許庁

To provide a new data carrier structure that enables a number of data carriers to be efficiently installed at accurate intervals along a long object such as cable or piping; an efficient method for manufacturing the data carrier structure; and a structure for installing the data carrier structure in the long object.例文帳に追加

本発明は、ケーブルや配管等の長尺体に沿って効率良く且つ正確な間隔で多数のデータキャリアを設置出来る新しいデータキャリア構造体、更には、そのデータキャリア構造体の効率的な製造方法、更には、前記データキャリア構造体の長尺体への設置構造を提供することを可能にすることを目的としている。 - 特許庁

The flow rate of the carrier gas flowing through piping 1 for supplying the organometallic compound gas connected to the reaction line 10 connected to the reaction tube 11 is set to 100 cc or more per min.例文帳に追加

また、反応管１１に接続されたリアクトライン１０に接続された有機金属化合物ガス供給用の配管１に流すキャリアガスの流量を毎分１００ｃｃ以上にする。 - 特許庁