beam current densityとは 意味・読み方・使い方

The current density section control grating is so constituted, as to generate an electron beam having nonuniform current density section from the electron gun.例文帳に追加

電流密度断面制御格子は、不均一な電流密度断面をもつ電子ビームが電子銃から発生するように構成される。 - 特許庁

To improve a deposition speed without increasing the current density of an ion beam.例文帳に追加

イオンビームの電流密度を上げることなく、成膜スピードの向上を可能とする。 - 特許庁

To provide an ion source that generates an ion beam having a large effective diameter with an ion beam current density of 10 mA/cm2 or more, an ion beam uniformity of ±3% or less and a reproducibility (change with the passage of time) of ion beam current density of ±1% or less.例文帳に追加

本発明は、イオンビーム電流密度１０ｍＡ／ｃｍ^2 以上、イオンビームの均一性±３％以内、イオンビーム電流密度の再現性（経時変化）±１％以内で、有効径の大きいイオンビームを発生するイオン源を提供する。 - 特許庁

To provide an electron beam device capable of maintaining a constant angle current density of an emitter.例文帳に追加

エミッタの角電流密度を常に一定に保つことができる電子線装置を提供すること。 - 特許庁

To efficiently adjust a beam current density distribution of each ion beam in an ion-beam-superposed region on a glass substrate irradiated with a plurality of ion beams.例文帳に追加

ガラス基板上に照射された複数本のイオンビームによる重ね合わせ領域において、各イオンビームのビーム電流密度分布を効率的に調整する。 - 特許庁

In the adjustment step, the ion beam is adjusted based on the beam current density calculated in the calculation step.例文帳に追加

調整工程では、前記算出工程によって算出された前記ビーム電流密度に基づいて前記イオンビームを調整する。 - 特許庁

To provide an ion implantation device in which a uniformity of a beam current density distribution in a Y direction of the ion beam can be improved even if a plasma density distribution is not uniform in a plasma generator of an ion source.例文帳に追加

イオン源のプラズマ生成部内におけるプラズマ密度分布が均一でない場合でも、イオンビームのＹ方向におけるビーム電流密度分布の均一性を良くする。 - 特許庁

To practically ease deviation of an ion beam current density distribution due to the influence of a magnetic field for a filter.例文帳に追加

フィルタ用の磁界の影響によるイオンビーム電流密度分布の偏りを実質的に緩和する。 - 特許庁