beam blankingとは 意味・読み方・使い方

HIGH-STABILITY SYMMETRIC BLANKING IN ELECTRON BEAM EXPOSURE SYSTEM例文帳に追加

電子ビーム露光システムでの高安定性対称的ブランキング - 特許庁

To provide a blanking system in an electron-beam projection system.例文帳に追加

電子線投影露光装置におけるブランキングシステムを提供する。 - 特許庁

CHARGED PARTICLE BEAM PROJECTION ALIGNER AND BLANKING APERTURE ARRAY USED THEREBY例文帳に追加

荷電粒子ビーム露光装置及びそこで使用するブランキング・アパーチャ・アレイ - 特許庁

In scan of the electron beam on the sample, blanking is periodically given to an electron beam, and simultaneously, a high voltage applying timing signal synchronized with a blanking signal from an excimer beam source control circuit 22 is supplied to the excimer beam source 21, so that the excimer beam is generated in a period within a blanking period.例文帳に追加

電子ビームの試料上走査において定期的に電子ビームにブランキングを掛けると同時に、エキシマ光源制御回路２２からブランキング信号に同期した高電圧印加タイミング信号をエキシマ光源２１に供給して、ブランキング期間以内の期間にエキシマ光を発生させる。 - 特許庁

A blanking controller 200 is connected to the cathode ray tube electronic beam blanker 201, and generates the blanking trigger signal Gk to control the elimination of the electronic beam.例文帳に追加

ブランキングコントローラ２００は、陰極線管電子ビームブランカ２０１に接続され、電子ビームの消去を制御するための該ブランキングトリガ信号Ｇkを発生する。 - 特許庁

The charged particle beam device has the blanking mechanism 21.例文帳に追加

また、本発明の荷電粒子ビーム装置は、当該ブランキング機構２１を備える。 - 特許庁

In a method for charged particle beam lithography in which the substrate is exposed by turing on/off a charged particle beam by moving the charged particle beam on a blanking aperture in a deflected state, the size of the charged particle beam on the blanking aperture is made larger as compared with the size of the blanking aperture.例文帳に追加

荷電粒子線を偏向してブランキングアパーチャ上を移動させることにより、荷電粒子線をオン・オフして基板を露光する荷電粒子線描画方法において、ブランキングアパーチャの大きさに比べブランキングアパーチャ上の荷電粒子線の大きさを大きくする。 - 特許庁

The control device 32 checks the input control signal, energizes a beam blanking power supply 11 when any of the respective devices is in operation, and performs the blanking of an electron beam.例文帳に追加

該制御装置３２は、入力される制御信号をチェックし、前記各装置のいずれかが動作中であるとビームブランキング電源１１を付勢し、電子ビ−ムをブランキングする。 - 特許庁