beam attenuatorとは 意味・読み方・使い方

Light (72) coming out of the attenuator (56) is directed to a beam expander (58), light (74) coming out of the expander is directed to the diffraction optical element (60) and is divided into a servo beam which is a desirable beam (76) and a ghost beam which is an undesirable beam (78).例文帳に追加

減衰器（５６）を出た光（７２）は、ビームエキスパンダ（５８）に向けられ、これを出た光（７４）は回折光学素子（６０）に向けられ、所望のビーム（７６）であるサーボビームと、不所望のビーム（７８）であるゴーストビームとに分けられる。 - 特許庁

The optical attenuator device operates to remove a part of a beam of radiation having intensity higher than average intensity by using at least one optical attenuator element.例文帳に追加

光減衰器デバイスは少なくとも１つの光減衰器要素を使用して平均強度より高い強度を有する放射のビームの一部を取り除くように動作する。 - 特許庁

To provide one or more optical attenuator elements that are symmetrical about the center line of a beam and that exist in a central part of the beam.例文帳に追加

ビームの中心線に対して対称であり、ビームの中心部分に存在する１つ又は複数の光減衰器要素を提供すること。 - 特許庁

The beam attenuator 1 is provided with a base part 2 and a plurality of triangular projections 3 laid on the surface of the base part 2.例文帳に追加

ビームアッテネータ１は、基部２と、基部２の表面に配置された複数の三角形状凸部３とを備える。 - 特許庁

An attenuator is provided in a pupil of a projection system to attenuate each of the diffraction order components of the patterned beam.例文帳に追加

投影システムの瞳にアテニュエータが設けられて、パターニングされたビームの個々の回折次数部分を減衰させる。 - 特許庁

The amorphous silicon may be laser annealed with an excimer laser beam the energy density of which is adjusted by the transmittance of a variable attenuator.例文帳に追加

バリアブルアッテネータの透過率でエネルギ密度を調整したエキシマレーザビームでアモルファスシリコンをレーザアニールしてもよい。 - 特許庁

This laser annealer 10 has a laser oscillator 12, a variable attenuator 14, a laser beam adjusting mechanism 16, a homogenizer 18, and a laser beam detecting mechanism 20.例文帳に追加

レーザアニール装置１０は、レーザ発振器１２と、バリアブルアッテネータ１４と、レーザビーム調整機構１６と、ホモジナイザ１８と、レーザビーム検出機構２０とを有する。 - 特許庁

The intensity of the laser beam is modulated to the intensity corresponding to the film thickness distribution by using the attenuator 4, and the working irradiation is performed.例文帳に追加

アッテネータ４を用いて膜厚分布に応じた強度にレーザー光を強度変調して加工照射を行う。 - 特許庁