backscattered electronとは 意味・読み方・使い方

In this case, Δ resize is a dimensional correction quantity, DB is distribution of a backscattered electron quantity and B is distribution of the beam blur which occurs in a transfer optical system.例文帳に追加

ここで、Δｒｅｓｉｚｅは寸法補正量であり、Ｄ_Bは後方散乱電子量の分布であり、Ｂは転写光学系で生じるビームボケの分布である。 - 特許庁

To provide a material for a lithographic substrate which prevents halation efficiently and carries out an accurate electron beam exposure for very fine details by preventing backscattered electrons radiation out of the substrate upon high-energy electron beam irradiation in electron beam lithography.例文帳に追加

電子線リソグラフィにおいて、高エネルギーの電子線を照射したときに、後方散乱電子が基板から発生するのを防ぎ、効率のよいハレーション防止を達成させることができ、より微細な図形を正確に電子線露光することのできるリソグラフィ用基板材料を提供する。 - 特許庁

The throat segment and the lower portion of the bowl are composed of a heat-resistant material and correspond with the regions of the electron shielding member that are impacted by relatively many backscattered electrons from the anode surface.例文帳に追加

のど部およびボウルの下側部は、耐熱材料から構成され、アノード表面からの比較的多い後方散乱電子が衝突する電子遮蔽物の領域に相当する。 - 特許庁

An electron microscope has: an electron beam lens-barrel 1 in order to irradiate an electron beam 1a to a sample 11; a sample stage 3 to support the sample 11; a scattered electron detector 6 in order to detect backscattered electrons discharged from the sample 11; and a focused ion beam lens-barrel 2 in order to irradiate the sample 11 with a focused ion beam 2b.例文帳に追加

試料１１に電子ビーム１ａを照射するための電子ビーム鏡筒１と、試料１１を支持する試料台３と、試料１１から放出される後方散乱電子を検出するための散乱電子検出器６と、試料１１に集束イオンビーム２ｂを照射するための集束イオンビーム鏡筒２とを有する電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide an electron beam system capable of displaying backscattered electron images at the same brightness and same contrast at all times if the atomic number differences are the same when illumination conditions including an accelerating voltage and an emission current are varied or when the specimens are observed with different instruments.例文帳に追加

加速電圧と照射電流値の照射条件が変わる場合及び／又は異なる装置で試料を観察する場合においても、原子番号差が同じであれば常に同じ輝度とコントラストで反射電子像の表示が行えるようにする。 - 特許庁

Since a backscattered electron scattering coefficient of beryllium is smaller compared with that of soft iron or the like, the re-reflecting rate of the electron reflected from the charged beam irradiation surface of the wafer to the opposing surface becomes low, thereby preventing fogging exposure due to a fogging effect.例文帳に追加

ベリリウムは軟鉄等に比べ反射電子散乱係数が小さいので、ウェハの荷電ビーム照射面から対向面に反射した電子が、ウェハ方向に再反射される率が低くなり、ｆｏｇｇｉｎｇ効果によるかぶり露光を防ぐ。 - 特許庁

A gain G_1 and an offset F_1 at which the backscattered electron signal intensity at arbitrary acceleration voltage V_1 and emission current I_1 is set equal to that at V_0 and I_0 are obtained and corrected.例文帳に追加

任意の加速電圧Ｖ_１と照射電流値Ｉ_１のときの反射電子信号強度がＶ_０，Ｉ_０のときの反射電子信号強度に等しくなる増幅率Ｇ_１とオフセットＦ_１を求め補正する。 - 特許庁

In a standard specimen having an average atomic number Z_0, a gain G_0 and an offset F_0 of an amplifier providing backscattered electron signal intensity A(Z_0, V_0, I_0) used as a reference when an acceleration voltage and an emission current are V_0 and I_0, respectively, are obtained in advance.例文帳に追加

平均原子番号Ｚ_０を持つ標準試料において、加速電圧Ｖ_０，照射電流値Ｉ_０のときの基準となる反射電子信号強度Ａ（Ｚ_０，Ｖ_０，Ｉ_０）を与える増幅器の増幅率Ｇ_０とオフセットＦ_０を求めておく。 - 特許庁