atomic probingとは 意味・読み方・使い方

To accurately measure a high-aspect structure in a digital probing system AFM (atomic force microscope).例文帳に追加

ディジタルプロービング方式のＡＦＭ（原子間力顕微鏡）において、高アスペクト構造を高精度で測定する。 - 特許庁

To provide an evaluating method for the surface smoothness of a substrate at the micro-level of atomic arrangement by a method other than the probing method and the interatomic force microscopic method.例文帳に追加

探針法や原子間力顕微鏡法以外の方法による原子配列のミクロなレベルでの基板表面の平滑性の評価の方法の開発。 - 特許庁