atomic beam spectroscopyとは 意味・読み方・使い方

Also, under the conditions that a spattering speed becomes 3.6 nm/min in the case of spattering of SiO_2 as a standard sample by the X ray photoelectron spectroscopy using an argon beam, the spattering of the wire surface reveals that the average oxygen density is 20 atomic % or below when detected during the spattering time between 6 minutes and twelve minutes.例文帳に追加

また、アルゴンビームを使用したＸ線光電子分光法により、標準試料としてのＳｉＯ_２をスパッタリングした場合にスパッタリング速度が３．６ｎｍ／分となる条件で、ワイヤ表面をスパッタリングしたときに、スパッタリング時間が６分から１２分までに検出された酸素の濃度の平均値が２０原子％以下である。 - 特許庁