anodically bondedとは 意味・読み方・使い方

A lid body 17 made of a silicon thin film blocking a housing hole 16 fitted to a body 1 and a frame part 31 constituting an armature block 3 are anodically bonded on one surface side of the body 1 consisting of a glass substrate.例文帳に追加

ガラス基板からなるボディ１の一表面側に、ボディ１に設けられた収納孔１６を閉塞するシリコン薄膜からなる蓋体１７とアーマチュアブロック３を構成するフレーム部３１とが陽極接合される。 - 特許庁

A silicon substrate 17 having a pressure-sensitive diaphragm 17a as a movable electrode of a pressure sensor is eutectically and anodically bonded to the principal plane 11a of the glass substrate 11 via a bonding member 16.例文帳に追加

ガラス基板１１の主面１１ａ上には、圧力センサの可動電極である感圧ダイヤフラム１７ａを有するシリコン基板１７が接合部材１６を介して共晶接合されると共に陽極接合されている。 - 特許庁

For this, a flatness at a part outside a one-dot broken line as shown in figure 3(a), or a part where the frame part 31 on one surface of the body 1 is anodically bonded is free from deterioration, and bonding strength of the frame part 31 and the body 1 is prevented from deteriorating.例文帳に追加

このため、ボディ１の一表面におけるフレーム部３１が陽極接合される部分（図３（ａ）の一点破線より外側の部分）の平坦度が劣化せず、フレーム部３１とボディ１との接合強度の低下が防止できる。 - 特許庁

To prevent a weight part and a cover plate from adhering to each other due to an electrostatic force, when the cover plate is anodically-bonded and mounted to a support part in a semiconductor sensor so as to easily peel off the weight part and the cover plate from each other, even if they have adhered to each other.例文帳に追加

半導体センサにおいて、カバー板を支持部に取り付けるための陽極接合時に静電気力によって錘部とカバー板が貼り付くのを防止し、貼り付いても容易に剥がすことができるようにする。 - 特許庁

A pressure sensor element 30 includes: a plate-like silicon substrate 330 having a sensor surface 331; a plate-like glass substrate 320 having a second plane surface 322 bonded to the sensor surface 331 of the silicon substrate 330; and a metal plate 310 which is anodically bonded to a first plane surface 321 of the glass substrate 320 being back to back with the second plane surface 322.例文帳に追加

圧力センサ素子３０は、センサ面３３１を有する板状のシリコン基板３３０と、シリコン基板３３０のセンサ面３３１に接合された第２平面３２２を有する板状のガラス基板３２０と、第２平面３２２に背向するガラス基板３２０の第１平面３２１に陽極接合された金属板３１０を備える。 - 特許庁

This force detecting device 11 comprises the base 26 made out of the glass including a movable ion component, a terminal 24 inserted into the base 26, and the force detecting block 29 having a gauge part changing its electric resistance value in accordance with the stress acting on the same, and being anodically bonded to the base 26.例文帳に追加

力検知装置１１は、可動イオンとなり得る成分を含むガラスによって形成された基台２６と、基台２６に挿通された端子２４と、作用する応力に応じて電気抵抗値が変化するゲージ部を有するとともに基台２６に陽極接合された力検知ブロック２９とを備えている。 - 特許庁