VNUとは 意味・読み方・使い方

A vapor knife VNU is provided with a long nozzle body which extends at least from one end of a substrate G to the other end, for covering therethrough, in the horizontal (longitudinal) direction that crosses at right angle with the transfer direction.例文帳に追加

ベーパナイフＶＮ_Uは、搬送方向と直交する水平方向（横方向）において少なくとも基板Ｇの一端から他端までカバーできる長さに亘って延在する長尺状に横長のノズル本体を有している。 - 特許庁

Pressurized vapor is introduced from a vapor supply mechanism (not shown) to the nozzle body of the vapor knife VNU through a vapor supply pipe 176, so that the vapor is sprayed from the jet ports 174 to the upper surface (surface to be treated) of the substrate G.例文帳に追加

ベーパ供給機構（図示せず）より加圧された水蒸気がベーパ供給管１７６を介してベーパナイフＶＮ_Uのノズル本体に導入され、先端の噴出口１７４より水蒸気が基板Ｇの上面（被処理面）に吹き付けられる。 - 特許庁