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Tisiとは 意味・読み方・使い方
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「Tisi」を含む例文一覧
該当件数 : 12件
A chemical compound film 8 is composed of ErSi, PtSi and TiSi or NiSi films, for example, and a chemical compound film 9 is composed of NiSi and CoSi or TiSi films, for example.例文帳に追加
化合物膜8は、例えばErSi、PtSi、TiSi又はNiSi膜等からなり、化合物膜9は、例えばNiSi膜、CoSi膜又はTiSi膜等からなる。 - 特許庁
The wirings 114 and 126 each consist of a TiSi layer with about 2 μm thickness, for example.例文帳に追加
配線114と配線124は共に例えば厚さ約2μmのTiSi層から成る。 - 特許庁
A TiSi layer 8 is formed on the gate electrode and the surface of both the impurity layers through sputtering-heat-treatment of Ti.例文帳に追加
次にTiをスパッタ熱処理しゲート電極と両不純物層表面にTiSi層8を形成する。 - 特許庁
A TiSiN(titanium silicide nitride) film or a laminated film of TiSiN film and TiSi film is used as a hard mask.例文帳に追加
ハードマスクにTiSiN(珪化窒化チタン)膜またはTiSiN膜とTiSi膜との積層膜を用いる。 - 特許庁
In a process (b), after forming a TiSi film 5 on the surfaces of the diffusion layer 3 and the gate electrode 4, an oxide film 6 is formed over the whole of the surfaces of the TiSi film 5 and the insulation film 2 to expose to the external the surface of the gate electrode 4 by polishing the oxide film 6.例文帳に追加
工程(b)で、拡散層3及びゲート電極4の表面にTiSi膜を形成し、該表面全体に酸化膜6を形成し、酸化膜6を研磨してゲート電極4の表面を露出させる。 - 特許庁
To provide a method for fabricating a semiconductor device in which deterioration of the device can be suppressed by suppressing side etching of a TiSi layer.例文帳に追加
TiSi層のサイドエッチングを抑制し、デバイス劣化を抑えることのできる半導体装置の製造方法を提供すること。 - 特許庁
The top surface of the W plug 20 is coated with the laminated film comprising an SiC film 21 and a TiC/TiSi layer 26 whose thickness is not larger than about ten-odd nano-meters.例文帳に追加
SiC膜21とTiC/TiSi層26とからなる十数nm程度以下の積層膜で、Wプラグ20の上面を覆う。 - 特許庁
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「Tisi」を含む例文一覧
該当件数 : 12件
A Ti film 70 is formed on the whole surface in a state that a TiSi-2/Poly-Si polycide gate 40 is formed on a substrate 10 via a gate insulating film, a hard mask 51 is formed on the gate 40 and spacers 60 are respectively formed on the sidewalls of the gate 40.例文帳に追加
TiSi2/Poly−Siのポリサイドゲート40、ポリサイドゲート40の上にハードマスク51、ポリサイドゲート40の側壁にスペーサ60が形成された状態で、全面にTi膜70を形成する。 - 特許庁
A TiSi seed layer (25 nm), CrMo base layer (25 nm), CoNiCrTa magnetic layer (20 nm) and C protective layer (10 nm) are successively formed by sputtering on the surface of a glass substrate where minute recesses and projections are formed.例文帳に追加
微小凹凸が形成されたガラス基板の表面に、スパッタリングによって順次、TiSiシード層(25nm)、CrMo下地層(25nm)、CoNiCrTa磁性層(20nm)、C保護層(10nm)を形成した。 - 特許庁
In the write-once optical recording medium having the inorganic recording film, the inorganic recording film comprises: an oxide film 3 the main component of which is germanium (Ge) oxide GeO; and a metallic film 2 which is adjacent to the oxide film 3 and the main component of which is titanium-silicon alloy TiSi.例文帳に追加
本発明は、無機記録膜を有する追記型光記録媒体であって、無機記録膜が、ゲルマニウム(Ge)の酸化物GeOを主成分とする酸化物膜3と、この酸化物膜3に隣接するチタン・シリコン合金TiSiを主成分とする金属膜2とを有する構成とする。 - 特許庁
The coating film has respectively one or more layers of a first film composed of one kind of compound selected from nitride of TiSi, carbide, carbonitride, oxynitride and carboxynitride, and a second film composed of one kind of compound selected from nitride, carbide, carbonitride, oxynitride and carboxynitride of one kind of metal M selected from Ti, Cr and a TiCr alloy.例文帳に追加
被覆膜は、TiSiの窒化物、炭化物、炭窒化物、酸窒化物及び炭酸窒化物から選択された1種の化合物からなる第一の膜と、Ti、Cr及びTiCr合金から選択された1種の金属Mの窒化物、炭化物、炭窒化物、酸窒化物及び炭酸窒化物から選択された1種の化合物からなる第二の膜とをそれぞれ1層以上具える。 - 特許庁
The coating film has respectively one or more layers of a first film composed of one kind of compound selected from nitride of TiSi, carbide, carbonitride, oxynitride and carboxynitride, and a second film composed of one kind of compound selected from nitride, carbide, carbonitride, oxynitride and carboxynitride of one kind of metal M selected from Zr, Hf and ZrHf.例文帳に追加
被覆膜は、TiSiの窒化物、炭化物、炭窒化物、酸窒化物及び炭酸窒化物から選択された1種の化合物からなる第一の膜と、Zr、Hf及びZrHfから選択された1種の金属Mの窒化物、炭化物、炭窒化物、酸窒化物及び炭酸窒化物から選択された1種の化合物からなる第二の膜とをそれぞれ1層以上具える。 - 特許庁
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