The Cap (film)とは 意味・読み方・使い方

To provide a semiconductor device which is excellent in RC property, by forming a cap film avoiding the problem caused by the dishing of the cap film or the remaining sidewall of the recess part of the cap film.例文帳に追加

キャップ膜のデッシングやキャップ膜のリセス部側壁残りによる問題を回避したキャップ膜を形成することで、ＲＣ特性の優れた半導体装置を提供する。 - 特許庁

Then, the side surface of a polysilicon film 3 is coated with a side cap film 6.例文帳に追加

次に、ポリシリコン膜３の側面をサイドキャップ膜６で被覆する。 - 特許庁

The unnecessary Cu film 7 and the barrier metal film 6 on the cap film 4 are removed by CMP.例文帳に追加

キャップ膜４上の不要なＣｕ膜７及びバリアメタル膜６をＣＭＰにより除去する。 - 特許庁

A method for producing a cellular plastic sheet includes steps for molding a melt-extruded polyolefin film by a vacuum molding roll to obtain the cap film 2, melt-bonding a back film 1 to the cap film 2, and further melt-bonding a liner film 3 to the cap tops of the cap film.例文帳に追加

溶融押出ししたポリオレフィンのフィルムを真空成形ロールで成形してキャップフィルム２を得、キャップフィルム２にバックフィルム１を融着し、キャップの頂きにライナーフィルム３を融着する工程によってプラスチック気泡シートを製造する。 - 特許庁

Further, a cap film 7 is formed on the interlayer insulating film 6 and then a resist film 8 having a predetermined pattern is formed on the cap film 7.例文帳に追加

さらに、層間絶縁膜６の上にキャップ膜７を形成した後、キャップ膜７の上に所定のパターンを有するレジスト膜８を形成する。 - 特許庁

An insulating film and a cap film are formed on a substrate and a wiring trench is formed on the film.例文帳に追加

基板上に絶縁膜とキャップ膜を設け、この膜に配線用溝を形成する。 - 特許庁

The insulating film 4 used as the cap film may also be used as a gate insulating film as it is.例文帳に追加

キャップ膜として用いた絶縁膜４をそのままゲート絶縁膜として用いてもよい。 - 特許庁

A dummy film 3 and a cap insulating film 4 are deposited on a substrate 1 in this sequence, a groove pattern is formed in the cap insulating film 4 and the dummy film 3.例文帳に追加

基板１上に、ダミー膜３およびキャップ絶縁膜４をこの順に成膜し、当該キャップ絶縁膜４およびダミー膜３に溝パターンを形成する。 - 特許庁