RBRとは 意味・読み方・使い方

The return transfer robot RBR and the transfer robot TR4 can focus on the post-exposure transfer of the substrate W, thereby ensuring to keep a constant time from the end of the exposure process to the start of the post-exposure baking process.例文帳に追加

戻り搬送ロボットＲＢＲおよび搬送ロボットＴＲ４は露光後の基板Ｗの搬送に専念できるため、露光処理完了から露光後加熱処理開始までの時間を確実に一定にすることができる。 - 特許庁

On the other hand, the substrate W on which pattern exposure processing is carried out by the exposure unit EXP is received by a return transfer robot RBR to be placed on a return substrate placement part RPASS, and then is transferred by a transfer robot TR4 to any one of PHP 7 through PHP 12 that perform post-exposure baking process.例文帳に追加

一方、露光ユニットＥＸＰにてパターン露光の施された基板Ｗは戻り搬送ロボットＲＢＲによって受け取られて戻り基板載置部ＲＰＡＳＳに載置された後、搬送ロボットＴＲ４によって露光後加熱処理を行う加熱部ＰＨＰ７〜ＰＨＰ１２のいずれかに搬送される。 - 特許庁