Polyatomic moleculeとは 意味・読み方・使い方

When the cluster molecule ion is irradiated, a polyatomic molecule gas is introduced into the gas supply part 11, the cluster molecule ion is made to be generated by an electronic exchange between the single atom ion formed in the ion source 1 and the polyatomic molecule gas introduced into the gas supply part 11, and this is separated by the second mass spectrograph 5 and is irradiated.例文帳に追加

クラスタ分子イオンを照射する場合には、ガス供給部１１に多原子分子ガスを導入し、イオン源１で生成された単原子イオンとガス供給部１１に導入された多原子分子ガスとの間での電子交換によってクラスタ分子イオンを発生させ、これを第２の質量分析器５で分離して照射する。 - 特許庁

By enabling the irradiation of different type ion beams generated by first and second ion sources 11, 12, a process irradiating a silicon wafer 10 with a polyatomic molecule ion beam for removing a surface oxide film and a process irradiating the silicon wafer 10 with an ion beam of the implanted ions for implanting ions are continuously carried out to the silicon wafer 10 attached to a platen in a chamber 18 without breaking a vacuum atmosphere during them.例文帳に追加

第１および第２のイオン源１１・１２で生成される、異なる種類のイオンビームの照射を可能とすることで、多原子分子のイオンビームをシリコンウェーハ１０に照射して表面の酸化膜を除去する工程と、注入イオンのイオンビームをシリコンウェーハ１０に照射してイオンを注入する工程とを、チャンバ１８内のプラテンに装着されたシリコンウェーハ１０に対し、その間の真空雰囲気を破ること無く連続して行う。 - 特許庁