Pirani gaugeとは 意味・読み方・使い方

A vacuum gauge 13 for monitoring a degree of vacuum comprising a baratron gauge, a pirani gauge or the like is provided to a vacuum chamber 2 of the vacuum treatment device 1, and the degree of vacuum detected by the vacuum gauge 13 is inputted to the APC 14.例文帳に追加

本発明の真空処理装置１の真空チャンバ２には、真空度を監視するバラトロンゲージやピラニーゲージ等からなる真空計１３が設けられ、真空計１３が検出した真空度はＡＰＣ１４に入力される。 - 特許庁

This circuit 1 further comprises a second amplifier 32 whose output terminal is electrically disconnected from the resistance bridge circuit 5, which outputs a high voltage exceeding the output range of the Pirani gauge 20 when the filament 25 is disconnected.例文帳に追加

通常の状態では、出力端子が抵抗ブリッジ回路５から電気的に切り離されている第２の増幅器３２を設け、フィラメント２５が断線したときに、ピラニ真空計２０の出力範囲を超える高電圧を出力させる。 - 特許庁

This pressure measuring circuit 1 comprises a first amplifier 31 connected to a resistance bridge circuit 5 having the filament 25 of a Pirani gauge 20 integrated thereto, and a current is carried to the resistance bridge circuit 5 by the negative return motion of the first amplifier 31 so as to keep the temperature of the filament 25 constant.例文帳に追加

この圧力測定回路１は、ピラニ真空計２０のフィラメント２５を組み込んだ抵抗ブリッジ回路５に、第１の増幅器３１が接続されており、第１の増幅器３１の負帰還動作により、抵抗ブリッジ回路５には、フィラメント２５の温度が一定に維持されるように通電される。 - 特許庁