Mechanical Booster Pumpとは 意味・読み方・使い方

When the vacuum exhaust system 100 is operated, the mechanical booster pump (MBP) 9 and a rotary pump (RP) 10 are started while all valves 3, 4, 5, 6 and 8 are closed, a slow rough valve (SRV) 4 is opened after stopping the mechanical booster pump 9 once, and then the mechanical booster pump 9 is restarted.例文帳に追加

真空排気システム１００の運転時には、全バルブ３，４，５，６，８を閉じた状態でメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）９およびロータリポンプ（ＲＰ）１０を起動し、一旦メカニカルブースタポンプ９を停止してからスローラフバルブ（ＳＲＶ）４を開いた後に再びメカニカルブースタポンプ９を再起動するものである。 - 特許庁

The trapping means 70 for mixtures in the exhaust gas is installed in an exhaust pipe 60 that connects a mechanical booster pump 40 and a dry pump 50.例文帳に追加

メカニカルブースターポンプ４０とドライポンプ５０とを接続する排気配管６０内に、排気中の混在物の捕捉手段７０を設ける。 - 特許庁

The vacuum arc melting furnace 1 has vacuum pump equipment connected to a furnace body 6 through a suction pipeline, and a vacuum atmosphere is formed in the furnace body 6 by jointly using a mechanical booster pump 12 of a mechanical type and a rotary pump 14.例文帳に追加

真空アーク溶解炉１は、炉体６に吸引管路８を通じて接続された真空ポンプ設備を有しており、機械式のメカニカルブースタポンプ１２およびロータリポンプ１４を併用して炉体６内に真空雰囲気が形成される。 - 特許庁

The inlet flange 2 of the oil diffusion pump 1 is attached with an exhaust piping 4 equipped with an exhaust value 5, and the outlet flange 3 of the oil diffusion pump 1 is attached with an exhaust piping 6 to be connected to a mechanical booster pump 7 and a rotary pump 8.例文帳に追加

油拡散ポンプ１のインレットフランジ２には排気バルブ５の設けられた排気配管４が取り付けられ、アウトレットフランジ３には排気配管６が取り付けられ、メカニカルブースタポンプ７、ロータリポンプ８が接続されている。 - 特許庁

A nitrogen gas cylinder 22, a rotary pump 30 and a mechanical booster pump 31 are connected to a bonding vessel 12 which comprises a bonding apparatus 10 for performing diffusion bonding and also a pressure sensor 32 is installed.例文帳に追加

拡散接合を行うための接合装置１０を構成する接合容器１２には、窒素ガスボンベ２２、ロータリポンプ３０及びメカニカルブースタポンプ３１が接続されるとともに、圧力センサ３２が設置される。 - 特許庁

To provide a vacuum exhaust system and an operation method therefor capable of reducing a load of a mechanical booster pump to prolong its service life and preventing the generation of noise.例文帳に追加

メカニカルブースタポンプの負荷を軽減して長寿命化を図ることが可能であるとともに騒音の発生を防止することが可能な真空排気システムおよびその運転方法を提供する。 - 特許庁

To stabilize a process of manufacturing a semiconductor integrated circuit device by avoiding troubles in the operation of a dry pump that are caused when reaction products collect between the dry pump and a mechanical booster pump in a vacuum system of a CVD apparatus for use in the manufacture of a semiconductor device, or the like, and rapidly moves toward the dry pump.例文帳に追加

半導体デバイス等の製造に用いるCVD装置の真空系におけるドライポンプとメカニカルブースターポンプの間に反応性生物がたまり、それが急激にドライポンプに移動することによって起こるドライポンプの運転のトラブルを回避することによって、半導体集積回路装置の製造プロセスの安定化を図る。 - 特許庁