Light Scattering Particle Counterとは 意味・読み方・使い方

LIGHT SCATTERING TYPE PARTICLE COUNTER例文帳に追加

光散乱式粒子計数装置 - 特許庁

This light scattering particle counter cools the light source 11 secured to a holder 15 by utilizing the specimen fluid 2 which passes through passage holes 15a and 15b by means of a suction force of the pump.例文帳に追加

この光散乱式粒子計数装置では、ポンプの吸引力で通過孔１５ａ、１５ｂを通過する試料流体２を利用して、ホルダ１５に固定された光源１１の冷却が行われる。 - 特許庁

The wafer evaluation method is characterised in that a wafer to be evaluated is dipped in an etchant formed of ammonia and hydrogen peroxide for a long period of time, and thereafter, a defect corresponding to the pit cluster is evaluated using a light scattering-method particle counter or a defect of 0.3 μm or above is evaluated.例文帳に追加

被評価ウエーハをアンモニア−過酸化水素水からなるエッチング液に長時間浸漬し、その後、光散乱方式のパーティクルカウンターを用いピットクラスターに相当する欠陥を評価するか、または０．３μｍ以上の欠陥を評価するようにした。 - 特許庁

To provide a method for using an existing light scattering particle counter or an equivalent counting principle, removing an effect of background noise particles, and conveniently and precisely evaluating the number density of particles having a particular particle diameter when the number density of the particles having the particular particle diameter is measured and evaluated under an outdoor environment in which the background noise particles exist.例文帳に追加

本発明は屋外等バックグランドノイズ粒子の存在する環境下において、特定の粒径をもつ粒子の個数濃度を測定評価する場合に、既存の光散乱式粒子計数器あるいはそれと同等の計数原理を有する粒子計数器をもちいて、バックグラウンドノイズ粒子の影響を取り除いて特定粒径の粒子の個数濃度を簡便に精度良く評価する方法を提供することを目的とする。 - 特許庁