Laser Annealerとは 意味・読み方・使い方

LASER ANNEALER, ITS METHOD AND METHOD OF MANUFACTURING POLYSILICON FILM例文帳に追加

レーザアニール装置及び方法、ポリシリコン膜の製造方法 - 特許庁

METHOD OF MANUFACTURING LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND LASER ANNEALER例文帳に追加

液晶表示装置の製造方法およびレーザアニール装置 - 特許庁

To ensure good annealing by improving a laser annealer.例文帳に追加

レーザーアニール装置を改良し、良好なレーザーアニールを可能ならしめる。 - 特許庁

To provide a laser annealer that can suppress the generation of ablation during annealing.例文帳に追加

アニール時のアブレーションの発生を低減できるレーザアニール装置を提供する。 - 特許庁

METHOD FOR ACTIVATING IMPURITIES, LASER ANNEALER, SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING SAME例文帳に追加

不純物活性化方法、レーザアニール装置、半導体装置とその製造方法 - 特許庁

OPTICAL ELEMENT, FOCUS ADJUSTMENT DEVICE USING THE SAME, FOCUS ADJUSTMENT METHOD, LASER ANNEALER, AND LASER ANNEALING METHOD例文帳に追加

光学素子及びこれを用いたピント調節装置、ピント調節方法、レーザアニール装置、レーザアニール方法 - 特許庁

This laser annealer 10 has a laser oscillator 12, a variable attenuator 14, a laser beam adjusting mechanism 16, a homogenizer 18, and a laser beam detecting mechanism 20.例文帳に追加

レーザアニール装置１０は、レーザ発振器１２と、バリアブルアッテネータ１４と、レーザビーム調整機構１６と、ホモジナイザ１８と、レーザビーム検出機構２０とを有する。 - 特許庁

The laser annealer is provided with an optical system 12 for a rectangular beam and another optical system 23 for a long beam for shaping the laser beam from a laser oscillator 11.例文帳に追加

レーザ発振器１１からのレーザビームを整形する光学系として、矩形ビーム用光学系１２と長尺ビーム用光学系１３とを設ける。 - 特許庁