Film thickness gaugesとは 意味・読み方・使い方

The thickness of the phosphore layer is measured using laser displacement gauges 20a-20f or the like during film forming, heat generation of crucibles 50a-50f is adjusted by a heating control means 24 in response to the measurement result, and the deposition rate every crucible is controlled.例文帳に追加

成膜中にレーザ変位計２０ａ〜２０ｆ等を用いて蛍光体層の膜厚を測定し、その測定結果に応じて、加熱制御手段２４によりルツボ５０ａ〜５０ｆの発熱を調整して、ルツボ毎の蒸着レートを制御する。 - 特許庁